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专利号: 2015101823689
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2025-02-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.无模板制备大比表面积铜颗粒膜复合材料的方法,其特征在于:在玻璃基体表面制备铜-铬合金膜,并保持基片台处于200℃~330℃的温度以使铜原子生长为铜颗粒即制得产品;所述在玻璃基体表面制备铜-铬合金膜的步骤如下:

1)将玻璃基体清洗干净后置于磁控溅射镀膜机基片台上;

2)在镀膜机的靶位上分别放置好Cu靶和Cr靶,然后关闭真空室、开启机械泵和分子泵对真空室抽真空,使真空度达到0.0001-0.0005Pa,而后再对基片台进行加热,加热温度200℃~330℃;

3)向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压为0.2-0.8Pa,然后同时接通Cu靶和Cr靶的电源在玻璃基体上共溅射沉积Cu-Cr合金薄膜;

4)Cu-Cr合金薄膜沉积完成后,继续对基片台保温30-100min,以使Cu-Cr合金薄膜中的Cu原子在薄膜表面析出、形核、生长成为不同尺度的Cu颗粒。

2.根据权利要求1所述的无模板制备大比表面积铜颗粒膜复合材料的方法,其特征在于:所述Cu-Cr合金薄膜中Cu的含量为2-30at%,厚度为5-100nm。