1.一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征是，光学平台(2)上从左至右依次设置激光跟踪仪(8)、双频激光干涉仪(1)、干涉镜组夹具(4)和直角棱镜组夹具(11)，干涉镜组夹具(4)由下往上依次放置干涉镜组(3)、双频激光干涉仪目标反射镜(13)、激光跟踪仪反射靶镜组(14)，其中干涉镜组(3)由垂直纸面方向连接的干涉分光镜(3-1)和干涉反射镜(3-

2)组成，直角棱镜组夹具(11)上放置直角棱镜组(12)，直角棱镜组(12)由下往上依次为第二直角棱镜(12-2)、第一直角棱镜(12-1)、第三直角棱镜(12-3)、第四直角棱镜(12-4)；

光学平台(2)右侧放置虚拟导轨(5)，五棱镜组(9)放置在虚拟导轨(5)上，五棱镜组(9)由下往上依次为第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-2)；

双频激光干涉仪(1)出射光束经干涉镜组(3)中的干涉分光镜(3-1)后分为两束，第一束经干涉分光镜(3-1)后水平出射，并依次经第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-2)反射，再水平出射并对准双频激光干涉仪目标反射镜(13)中心，原路返回后对准双频激光干涉仪(1)的辅助对准光阑中心，第二束经干涉分光镜(3-1)后进入干涉反射镜(3-2)，原路返回后对准双频激光干涉仪(1)的辅助对准光阑中心；

激光跟踪仪(8)出射光束依次经过第一直角棱镜(12-1)和第二直角棱镜(12-2)反射并水平出射，再依次经第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-2)反射后水平出射，再依次经过第三直角棱镜(12-3)和第四直角棱镜(12-4)后水平出射，并对准激光跟踪仪反射靶镜组(14)中的激光跟踪仪反射靶镜(14-1)中心，原路返回后进入激光跟踪仪(8)内部干涉系统及跟踪系统；

该装置还包括位置敏感探测器组(6)和位置敏感探测器组夹具(7)，位置敏感探测器组(6)由第一位置敏感探测器(6-1)和第二位置敏感探测器(6-2)组成，并由下往上依次固定在位置敏感探测器组夹具(7)上；用于调平虚拟导轨(5)和激光跟踪仪(8)光束以及调节测量光路与参考光路的平行度；

所述虚拟导轨(5)是由一个可移动平台P(N+1)和N个相隔一定节距的固定平台Pi，i＝1～N组成，固定平台Pi，i＝1～N和可移动平台P(N+1)上分别具有可调底座，可移动平台P(N+1)在固定平台之间移动，用于转移五棱镜组(9)或位置敏感探测器组(6)，利用可调底座调节虚拟导轨(5)的直线度。

2.根据权利要求1所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，在调平虚拟导轨(5)时，将位置敏感探测器组(6)中的第一位置敏感探测器(6-1)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上，将位置敏感探测器组夹具(7)依次放置在固定平台Pi，i＝1～N的可调底座上，经N次调节可调底座使双频激光干涉仪(1)的光束对准第一位置敏感探测器(6-1)中心。

3.根据权利要求1所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，调平激光跟踪仪(8)光束时，将位置敏感探测器组(6)中的第二位置敏感探测器(6-2)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上并位于第一位置敏感探测器(6-1)的上方，将位置敏感探测器组夹具(7)依次放在固定平台P1和固定平台PN的可调底座上，重复调节激光跟踪仪(8)，使位置敏感探测器组夹具(7)在两个位置处时激光跟踪仪(8)的光束均对准第二位置敏感探测器(6-2)中心。

4.根据权利要求1所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，调平测量光路与参考光路时，将五棱镜组(9)固定在五棱镜组夹具(10)上，并放置在虚拟导轨(5)的可调底座上，将位置敏感探测器组(6)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上，并放置在干涉镜组夹具(4)和直角棱镜组夹具(11)之间的光学平台(2)上，调节直角棱镜组夹具(11)和五棱镜组夹具(10)使五棱镜组(9)从固定平台P1经可移动平台P(N+1)移动至固定平台PN过程中双频激光干涉仪(1)光束和激光跟踪仪(8)光束始终分别对准第一位置敏感探测器(6-1)中心和第二位置敏感探测器(6-2)中心。

5.一种激光跟踪仪测长精度标定方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

第一步，调平虚拟导轨(5)；

双频激光干涉仪(1)和干涉镜组夹具(4)放在光学平台(2)上，双频激光干涉仪(1)的出射光束对准干涉分光镜(3-1)中心，干涉分光镜(3-1)和干涉反射镜(3-2)垂直于纸面方向连接并放置在干涉镜组夹具(4)上；

双频激光干涉仪(1)出射光束经干涉镜组(3)中的干涉分光镜(3-1)后分为两束，经干涉分光镜(3-1)后的第一束光进入干涉反射镜(3-2)反射，调节双频激光干涉仪(1)和干涉镜组夹具(4)，使反射光原路返回后对准双频激光干涉仪(1)的辅助对准光阑中心，经干涉分光镜(3-1)后的第二束光水平出射；

第一位置敏感探测器(6-1)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上，位置敏感探测器组夹具(7)放置在固定平台PN上的可调底座上，调节可调底座和位置敏感探测器组夹具(7)，使经干涉分光镜(3-1)后的第二束光对准第一位置敏感探测器(6-1)中心零位，固定该可调底座；移动位置敏感探测器夹具(7)和第一位置敏感探测器(6-1)至固定平台Pi，i＝1～(N-1)和可移动平台P(N+1)上的可调底座上，调节可调底座，使经干涉分光镜(3-1)后的第二束光对准第一位置敏感探测器(6-1)中心零位，固定可调底座，此时可认为虚拟导轨已调平；

第二步，调节激光跟踪仪(8)光束与双频激光干涉仪(1)光束平行；

激光跟踪仪(8)放置在光学平台(2)上，位于双频激光干涉仪(1)的左边，光束向右出射，光束指向球坐标为(5000mm，180°，90°)的空间点，关闭伺服；将位置敏感探测器夹具(7)固定在固定平台PN上的可调底座上，同时将第二位置敏感探测器(6-2)固定在位置敏感探测器夹具(7)上，且位于第一位置敏感探测器(6-1)的上部，使第二位置敏感探测器(6-2)中心对准激光跟踪仪(8)出射光束；调节激光跟踪仪(8)和位置敏感探测器夹具(7)使激光跟踪仪光束对准第二位置敏感探测器(6-2)中心零位；移动位置敏感探测器夹具(7)至固定平台P1的可调底座上，若激光跟踪仪(8)光束不在第二位置敏感探测器(6-2)中心零位，则调节激光跟踪仪(8)使激光跟踪仪(8)光束对准第二位置敏感探测器(6-2)中心零位，重新移动位置敏感探测器夹具(7)至固定平台PN上的可调底座上，若激光跟踪仪(8)光束不在第二位置敏感探测器(6-2)中心零位，则再次调节激光跟踪仪使激光跟踪仪(8)光束对准第二位置敏感探测器(6-2)中心零位，如此反复直至满足要求，此时可认为激光跟踪仪(8)光束与双频激光干涉仪(1)光束平行；

第三步，调节测量光路与参考光路平行；

调节第一直角棱镜(12-1)和第二直角棱镜(12-2)的高度缩小激光跟踪仪(8)光束和双频激光干涉仪(1)光束的间距使两光束可以同时通过第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-

2)；第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-2)自下而上固定在五棱镜组夹具(10)上并对准双频激光干涉仪(1)光束和激光跟踪仪(8)光束，五棱镜组夹具(10)固定在固定平台PN上的可调底座上；调节五棱镜组夹具(10)使两光束经第二五棱镜(9-2)后出射高度高于激光跟踪仪(8)； 调节第三直角棱镜(12-3)和第四直角棱镜(12-4)的高度，扩大激光跟踪仪(8)光束和双频激光干涉仪(1)光束的间距，使两光束分别对准第一位置敏感探测器(6-1)和第二位置敏感探测器(6-2)中心；调节直角棱镜组夹具(11)和五棱镜组夹具(10)使两光束在第一位置敏感探测器(6-1)和第二位置敏感探测器(6-2)中心零位；移动五棱镜组夹具(10)至固定平台P1上的可调底座上，若激光跟踪仪(8)光束和双频激光干涉仪(1)光束不在第一位置敏感探测器(6-1)或第二位置敏感探测器(6-2)中心零位，则重新调节使其位于中心零位，重新移动五棱镜组夹具(10)至固定平台PN上的可调底座上，若激光跟踪仪(8)光束和双频激光干涉仪(1)光束不在第一位置敏感探测器(6-1)或第二位置敏感探测器(6-2)中心零位，则重新调节使其位于中心零位，如此反复直至满足要求，此时视为测量光路和参考光路平行，消除了阿贝误差的影响；

第四步，调节双频激光干涉仪目标反射镜(13)和激光跟踪仪反射靶镜(14-1)位置使其中心分别对准各自光束形成测量回路；

五棱镜组夹具(10)安装到固定平台PN上的可调底座上，移除位置敏感探测器组(6)和位置敏感探测器组夹具(7)，将双频激光干涉仪目标反射镜(13)和激光跟踪仪反射靶镜组(14)自下而上固定在干涉镜组夹具(4)上，其中，激光跟踪仪反射靶镜组(14)包括激光跟踪仪反射靶镜(14-1)和激光跟踪仪反射靶镜底座(14-2)，调节干涉镜组夹具(4)使双频激光干涉仪目标反射镜(13)中心和激光跟踪仪反射靶镜(14-1)中心分别对准双频激光干涉仪(1)光束和激光跟踪仪(8)光束，并使双频激光干涉仪(1)信号满格；移动五棱镜组夹具(10)至固定平台P1上的可调底座上，若激光跟踪仪(8)光束和双频激光干涉仪(1)光束不在激光跟踪仪反射靶镜(14-1)和激光干涉仪目标反射镜(13)中心，则重新调节使激光干涉仪目标反射镜(13)中心和激光跟踪仪反射靶镜(14-1)中心分别对准双频激光干涉仪(1)光束和激光跟踪仪(8)光束，且双频激光干涉仪(1)信号满格；再次移动五棱镜组夹具(10)至固定平台PN上的可调底座上，若激光跟踪仪(8)光束和双频激光干涉仪(1)光束不在激光跟踪仪反射靶镜(14-1)、双频激光干涉仪目标反射镜(13)中心，则重新调节使双频激光干涉仪目标反射镜(13)中心和激光跟踪仪反射靶镜(14-1)中心分别对准双频激光干涉仪(1)光束和激光跟踪仪(8)光束，且双频激光干涉仪 (1)信号满格；如此反复直至满足要求，此时可以开始测量；

第五步，测量；

将五棱镜组夹具(10)放置在固定平台P1上的可调底座上，将可移动平台P(N+1)靠近固定平台P1打开激光跟踪仪(8)伺服，将激光跟踪仪反射靶镜(14-1)“回巢”，再将激光跟踪仪反射靶镜(14-1)移动至第一直角棱镜(12-1)处，迅速断光，此时激光跟踪仪8光束依次经过第二直角棱镜(12-2)、第一五棱镜(9-1)、第二五棱镜(9-2)、第三直角棱镜(12-3)和第四直角棱镜(12-4)出射，再将激光跟踪仪反射靶镜(14-1)移动至第四直角棱镜(12-4)处续光，放至反射靶镜底座(14-2)上，软件中设置环境补偿参数；重新打开双频激光干涉仪(1)的测量软件，设置环境自动补偿，规定待测点；开始测量起始点，双频激光干涉仪(1)的测量读数为L1，激光跟踪仪(8)的测量示数为(d1,α1,β1)，测量完成后移动五棱镜组夹具(10)至可移动平台P(N+1)上，缓慢移动可移动平台P(N+1)至固定平台P2，该过程中通过调节可移动平台P(N+1)上的可调底座使双频激光干涉仪(1)的信号需尽量保持满格，将五棱镜组夹具(10)移至固定平台P2上的可调底座上，测量第二点，双频激光干涉仪(1)的测量读数为L2，激光跟踪仪(8)的测量示数为(d2,α2,β2)；完成后测第i，i＝3～N点，双频激光干涉仪(1)的测量读数为Li，激光跟踪仪(8)的测量示数为(di,αi,βi)，重复上述操作，直至测量第N点结束；

第六步，数据处理；

双频激光干涉仪(1)的测距示数为LG＝Llo+LBi+LFi，i＝0～N,其中Llo为五棱镜组(9)在初始位置固定平台P1处双频激光干涉仪(1)的读数，LFi为第一五棱镜(9-1)移动i个节距产生的光程，LBi为第二五棱镜(9-2)移动i个节距产生的光程，当i＝0时，LBi＝LFi＝0；激光跟踪仪(8)的测距示数为dT＝dT0+dBi+dFi，其中dT0为五棱镜组(9)在初始位置固定平台P1处激光跟踪仪(8)的读数dT＝dT0+dBi+dFi，dFi为第一五棱镜(9-1)移动i个节距产生的光程，dBi为第二五棱镜(9-2)移动i个节距产生的光程，当i＝0时，dBi＝dFi＝0；移动1个节距，dT1＝dT0+dB1+dF1，LG1＝Ll0+LB1+LF1，则激光跟踪仪(8)和双频激光干涉仪(1)的测长变化分别为ΔdT1＝dB1+dF1，ΔLG1＝LB1+LF1，移动2个节距，dT2＝dT0+dB2+dF2，LG2＝Ll0+LB2+LF2，则激光跟踪仪(8)和双频激光干涉仪(1) 的测长变化分别为ΔdT2＝dB2+dF2，ΔLG2＝LB2+LF2，以此类推，第i，i＝(1～N-1)个节距，激光跟踪仪(8)和双频激光干涉仪(1)的测长变化分别为ΔdTi＝dBi+dFi，ΔLGi＝LBi+LFi；比较激光跟踪仪(8)和双频激光干涉仪(1)随五棱镜组(9)移动的测长变化，其差值ΔdLi＝ΔdTi-ΔLGi即为激光跟踪仪(8)在节距i的测长误差；统计并分析结果，给出激光跟踪仪(8)在全测程的测长误差。