1.一种满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构,其特征在于:包括由下到上依次设置的底部的第一电极层、绝缘层、低频、高频腔体层、绝缘弹性振动膜层和第二电极层,第一电极层采用第一电极片,第一电极片的上表面与绝缘层的下表面连接,低频、高频腔体层包括低频绝缘支撑板和框体结构的高频绝缘支撑体,低频绝缘支撑板的下表面连接绝缘层的上表面,低频绝缘支撑板的上表面连接绝缘弹性振动膜层的下表面,低频绝缘支撑板上设有一排上下通透的通槽,每个通槽与绝缘层和绝缘弹性振动膜层构成一个低频真空腔,每个低频真空腔内设有一个高频绝缘支撑体,高频绝缘支撑体的上表面与绝缘弹性振动膜层下表面贴合,且高频绝缘支撑体的下表面与绝缘层上表面不接触,第二电极层包括多个第二电极片,每个第二电极片的下表面与绝缘弹性振动膜层的上表面连接,且每个低频真空腔上方对应设置一个第二电极片;初始状态下,当第一电极片和第二电极片之间未加电压时,通槽、绝缘弹性振动膜和绝缘层构成低频真空腔;当第一电极片和第二电极片间施加的交流电压不超过低频真空腔的塌陷电压时,绝缘弹性振动膜层做上下往复振动动作,且高频绝缘支撑体下表面与绝缘层上表面不接触;当第一电极片和第二电极片间施加的交流电压超过低频真空腔的塌陷电压时,绝缘弹性振动膜层做上下往复振动动作,且高频绝缘支撑体下表面与绝缘层上表面接触,高频绝缘支撑体内的空间、绝缘层和绝缘弹性振动膜形成高频真空腔。
2.根据权利要求1所述的满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构,其特征在于:所述的所述的绝缘弹性振动膜层采用一整个绝缘弹性振动膜或者采用多个小绝缘弹性振动片,每个小绝缘弹性振动片对应设于每个通槽的上方并密封连接。
3.根据权利要求2所述的满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构,其特征在于:所述的通槽的深度大于高频绝缘支撑体的高度。