1.一种减少柔性基体上高熔点金属薄膜产生裂纹的方法,其特征在于,将易产生裂纹的具有残余拉应力的高熔点金属薄膜和其附着的柔性基体进行退火处理,以减少裂纹的产生,所述的退火处理操作为:将柔性基体和其上的高熔点金属薄膜以膜面朝上的方式两端固定,中部用向上凸起的凸模顶起,使高熔点金属薄膜与凸模紧密接触,从而对金属薄膜施加预应力,然后在真空炉内或气氛保护炉内加热退火,退火温度为260℃-320℃,退火时间
30-100min,以使薄膜内部应力接近平衡状态,从而减少由于应力释放及热能驱动薄膜原子扩散导致的薄膜开裂。
2.根据权利要求1所述的一种减少柔性基体上高熔点金属薄膜产生裂纹的方法,其特征在于:所述具有残余拉应力的高熔点金属薄膜是指,从外观上看表面下凹的高熔点金属薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种减少柔性基体上高熔点金属薄膜产生裂纹的方法,其特征在于:所述柔性基体为柔性聚酰亚胺基体。
4.根据权利要求1所述的一种减少柔性基体上高熔点金属薄膜产生裂纹的方法,其特征在于:所述凸模具有一弧形的凸起部(1)和位于两侧的用于卡紧柔性基体及其上金属薄膜的卡紧部(2)。