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专利号: 2015104448789
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-10-25
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摘要:

权利要求书:

1.一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法,其特征在于:首先在单晶硅基体上沉积Cu-Zr合金膜,然后在温度为550-600℃、且由N2与H2混合气氛保护的条件下退火45-90min,从而在单晶硅基体表面制备出ZrSix/Cu颗粒复合结构,然后在制备的ZrSix/Cu颗粒复合结构的表面沉积一层纳米Co薄膜即制得产品。

2.根据权利要求1所述的一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法,其特征在于:所述在单晶硅基体表面制备ZrSix/Cu颗粒复合结构的步骤如下:

1)将单晶硅基体清洗干净后置于磁控溅射镀膜机基片台上;

2)在镀膜机的靶位上分别放置好Cu靶和Zr靶,然后关闭真空室、开启机械泵和分子泵对真空室抽真空,使真空度达到0.0001-0.0005Pa;

3)向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压为0.3Pa,然后同时接通Cu靶和Zr靶的电源在聚酰亚胺基体上共溅射沉积Cu-Zr合金薄膜;

4)将步骤3)制得的Cu-Zr合金薄膜在温度为550-600℃、保护气氛为N2与H2混合气氛的条件下退火45-90min,即制得ZrSix/Cu颗粒复合结构。

3.根据权利要求2所述的一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法,其特征在于:所述Cu-Zr合金薄膜中Zr的含量不低于5at%,且Cu-Zr合金薄膜的厚度不超过60nm。

4.根据权利要求1所述的一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法,其特征在于:所述在ZrSix/Cu颗粒复合结构的表面沉积一层纳米Co薄膜的操作为:在镀膜机的靶位上放置好Co靶,当真空室真空度达到0.0001-0.0005Pa后,向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压达到0.3Pa,然后接通Co靶电源开始在ZrSix/Cu颗粒复合结构的表面沉积Co薄膜。