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专利号: 201510478333X
申请人: 江苏师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 冶金;黑色或有色金属合金;合金或有色金属的处理
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种3D芯片堆叠的含Eu、纳米Au的互连材料,其特征在于:其成分及质量百分比为:

稀土Eu元素含量为0.01~0.5%,纳米Au颗粒为5~8%,其余为In。

2.一种权利要求1所述一种3D芯片堆叠的含Eu、纳米Au的互连材料的制备方法,其特征在于:首先制备In-Eu中间合金粉末,其次混合In-Eu粉末、In粉末、混合松香树脂、触变剂、稳定剂、活性辅助剂和活性剂并充分搅拌,最后添加纳米Au颗粒,充分搅拌制备膏状含Eu和纳米Au颗粒的互连材料。

3.一种利用权利要求2所述方法得到的一种3D芯片堆叠的含Eu、纳米Au的互连材料形成高强度互连焊点的方法,其特征在于:使用含Eu和纳米Au颗粒的互连材料,采用精密丝网印刷和回流焊工艺在芯片表面制备凸点,在1MPa~10MPa压力和170℃~260℃温度条件下实现三维空间的芯片垂直互连,形成高强度互连焊点。

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