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专利号: 2015105709305
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2023-12-11
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有Si-V发光的纳米金刚石薄膜的可控制备方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:(1)在多晶金刚石衬底上,采用热丝化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜;

13 15 -2

(2)将步骤(1)得到的纳米金刚石薄膜进行硅离子注入处理,注入剂量为10 -10 cm ,得到硅离子注入的薄膜;(3)将步骤(2)得到的硅离子注入的薄膜在800-900℃温度下,3000~5000Pa压力下,退火30-60分钟,得到退火后的薄膜;(4)退火后的薄膜在

500-600℃温度下的空气中保温30-60分钟,即制得所述具有Si-V发光的纳米金刚石薄膜。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述步骤(1)采用以下步骤进行:对多晶金刚石衬底采用金刚石研磨膏打磨15~60分钟,打磨后的衬底放入金刚石微粉-丙酮悬浊液中超声振荡2~3小时,再依次用去离子水和丙酮超声清洗、干燥后得到处理后的衬底,放入化学气相沉积设备中,以丙酮为碳源,采用氢气鼓泡方式将丙酮带入到反应室中,反应温度600~700℃、反应时间3~4小时,在多晶金刚石衬底上制备得到厚度4~6μm的纳米金刚石薄膜。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述步骤(2)中,硅离子的注入剂量为

14 -2

10 cm 。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述步骤(3)中,退火温度900℃,压力

4000Pa,退火时间30分钟。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述步骤(4)中,退火后的薄膜在600℃温度下的空气中保温30分钟。

6.如权利要求1~5之一所述的方法制备的具有Si-V发光的纳米金刚石薄膜。