1.一种脆性材料表面在抛光前的评价方法,其特征在于:在研磨完成后抛光之前,计算研磨后脆性材料表面的残余去除体积,所述残余去除体积指当前表面形貌加工至要求表面形貌所应去除的材料体积,如果残余去除体积少于设定的体积阈值,则表明该脆性材料表面属于可能易抛型;否则属于可能不易抛型;
所述残余去除体积的计算基于白光干涉仪9800检测分析软件Vision进行二次开发,过程如下:
1)打开工件检测表面文件,将表面各点相对高度读入二维数组;
2)关闭工件检测表面文件;
3)对各点相对高度数组按升序排序成一维数组;
4)去除相对高度数组中的无效值与设定个数的最大、最小噪音值;
5)计算各点的残留体积并求和,得检测区域的残留去除体积。
2.如权利要求1所述的脆性材料表面在抛光前的评价方法,其特征在于:当判别属于可能易抛型后,计算研磨后脆性材料表面的粗糙度,如果粗糙度小于设定粗糙阈值,则判定该脆性材料表面属于易抛型。
3.如权利要求1或2所述的脆性材料表面在抛光前的评价方法,其特征在于:当待评价的脆性材料有至少两组时,如果一种脆性材料表面的残余去除体积比另一种脆性材料表面的残余去除体积小,则判定一种脆性材料表面比另一种脆性材料表面更易抛。