欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2015106096657
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种自组装式网格状α-MoO3纳米带H2S气敏传感器,其特征在于,所述气敏传感器所用核心α-MoO3纳米带覆盖在石英基底上,石英基底的两端敷设有铜电极;其中,网格状α-MoO3纳米带具有制备过程中自组装形成的插指型纳米带结构,网格状α-MoO3纳米带为100纳米的薄膜;

铜电极为通过磁控溅射成膜,且成膜均匀有良好导电性的电极。

2.根据权利要求1所述的自组装式网格状α-MoO3纳米带H2S气敏传感器,其特征在于,所述网格状α-MoO3纳米带是通过电子束气相沉积的方法获得。

3.根据权利要求1所述的自组装式网格状α-MoO3纳米带H2S气敏传感器,其特征在于,石英基底的两端沉积了厚度为100纳米铜膜电极层构成铜电极。

4.根据权利要求2所述的自组装式网格状α-MoO3纳米带H2S气敏传感器,其特征在于,所述网格状α-MoO3纳米带通过电子束气相沉积在石英基底。

5.根据权利要求1所述的自组装式网格状α-MoO3纳米带H2S气敏传感器,其特征在于,所述的石英基底能够被蓝宝石或硅基底替换。