1.一种氧化镓晶片去应力退火方法，其特征在于，包括以下步骤：a、将氧化镓晶片装载到辅助陶瓷工装架(1)上，再把辅助陶瓷工装架(1)置于退火用晶钵(2)内，向晶钵内加入氧化镓晶体粉末(3)，直至填满晶片和辅助陶瓷工装架(1)与退火用晶钵(2)之间的间隙，并覆盖所有需经退火处理的晶片；

b、将退火炉(4)关起，缓慢通入保护气体氮气，气流速度控制在不要将退火用晶钵(2)内氧化镓晶体粉末(3)吹起即可；

c、将退火炉(4)以2℃/min的速度持续均匀升温至低温区域300℃，并保温3～5h；

d、将退火炉(4)内温度以2℃/min的速度持续均匀从300℃升至800℃，并保温6～10h；

e、将退火炉(4)内温度以0.5℃/min的速度持续均匀从800℃升至1200℃，保温16h；

f、高温区域保温结束后，将退火炉(4) 内以每小时10～20℃降温至室温，关闭氮气，出炉，取出去应力退火处理过的氧化镓晶片。

2.根据权利要求1所述的一种氧化镓晶片去应力退火方法，其特征在于，步骤f中退火炉(4)以20℃/h的速度降温至室温。