1.一种硅片切割机用切削液循环装置,其特征在于:包括储水桶(1),所述储水桶(1)通过供水管(2)向至少一台切割机供水,所述切割机包括水箱(3),所述供水管(2)与水箱(3)相通,所述水箱(3)上开设有溢流口,该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机(4),每个水箱(3)上的溢流口均通过溢流管(5)将切削液送至过滤机(4),所述溢流管(5)上串接有去泡池(6),所述去泡池(6)上开设有与溢流口相通的进水口(7),所述去泡池(6)上还开设有与过滤机(4)相通的出水口(8),所述出水口(8)内安装有安全阀(9),所述进水口(7)的水平高度高于出水口(8)的水平高度,所述进水口(7)内切削液的流量与出水口(8)内切削液的流量相等,所述去泡池(6)上端还固定有与去泡池(6)相通的容泡池(10),所述容泡池(10)的容积大于去泡池(6)的容积,所述过滤机(4)与储水桶(1)之间通过回水管(11)相通,所述去泡池(6)与过滤机(4)之间串接有第一沉淀桶(12),所述回水管(11)上串接有第二沉淀桶(13),所述储水桶(1)上连接有两个供水泵(14),两个供水泵(14)并联后均向供水管(2)供水;
所述容泡池(10)内固定有至少两层网状电热层(15),两层网状电热层(15)之间的距离不小于10毫米,所述容泡池(10)的外壁上固定有控制网状电热层(15)的控制器(16);
所述过滤机(4)为至少两台并联在一起的厢式压滤机。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液循环装置,其特征在于:所述网状电热层(15)上固定有若干根立筋(17),所述立筋(17)的形状为圆锥形,所述立筋(17)的大端固定在网状电热层(15)上。
3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液循环装置,其特征在于:该硅片切割机用切削液循环装置还包括补水桶(18),所述补水桶(18)与储水桶(1)之间通过补水管(19)相通,所述补水管(19)上连接有药水桶(20),所述补水管(19)上还串接有控制补水桶(18)是否向储水桶(1)补水的第一控制阀(21),所述药水桶(20)与补水管(19)之间串接有第二控制阀(22)。