1.一种采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法,其特征在于,其包括下述步骤:步骤一:安装所述角反射镜激光干涉仪;
步骤二:将测量角反射镜装置设置在被测物体上;
步骤三:调试所述角反射镜激光干涉仪,使形成符合要求的光路,并且,使第一激光束与第二激光束处于干涉状态;
步骤四:开始测量工作前,启动精密位移装置,使测量角反射镜产生位移,所述测量角反射镜的位移方向与被测物体的位移方向在同一直线上,当光电探测器检测到最强相长干涉时,停止精密位移装置,并将光电探测器计数清零;步骤五:开始测量工作,被测物体开始移动,光电探测器记录第一激光束与第二激光束最强相长干涉的次数N;
步骤六:被测物体位移结束,处于静止状态,再次启动精密位移装置,使测量角反射镜产生位移,所述测量角反射镜的位移方向与被测物体的位移方向在同一直线上,当光电探测器再次检测到最强相长干涉时,停止所述精密位移装置,使测量角反射镜停止;
步骤七:读取精密位移装置为所述测量角反射镜提供的位移值△L;
步骤八:记录测量过程中光电探测器记录的最强相长干涉次数N 和测量角反射镜位移值△L;
步骤九:再次启动精密位移装置,移动测量角反射镜,使光电探测器记录最强相长干涉的次数M(M 为正整数),并读取 M 次最强相长干涉对应的测量角反射镜位移值Z;根据 Z=M×λ’/2,得出当前测量环境下,激光的等效波长λ’ =2Z/ M;
步骤十:计算被测物体的位移值;
若位移△L 与被测物体的位移方向相同,则,被测物体实际产生的位移值 L=N×λ’/2+(λ’/2-△L),其中△L<λ’/2,式中λ’为激光等效波长;
若位移△L 与被测物体的位移方向相反,则,被测物体实际产生的位移值 L=N×λ’/2+△L,其中△L<λ’/2,式中λ’为激光等效波长;
所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,所述激光源射出的激光束经所述分光镜后分为第一激光束和第二激光束,第一激光束射向所述固定角反射镜,经所述固定角反射镜反射后再次射向所述分光镜,再经分光镜后射向所述光电探测器,第二激光束射向所述测量角反射镜,经所述测量角反射镜反射后再次射向所述分光镜,经分光镜后射向所述光电探测器,第一激光束与第二激光束在射向所述光电探测器时发生干涉,所述测量角反射镜设置在所述精密位移装置上,所述精密位移装置设置在被测物体上,所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。
2.如权利要求 1 所述的测量方法,其特征在于,所述步骤四至步骤九中,所述最强相长干涉还可以为最弱相消干涉。