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专利号: 2015108763744
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种薄膜制备方法,其特征在于:该薄膜使用稀土掺杂Sb基相变薄膜材料制成,稀土掺杂Sb基相变薄膜材料的化学分子式为SbxAy;其中0

(b)制备稀土靶材,并将稀土靶材切割后贴置于Sb靶表面;

(c)对贴置稀土靶材的Sb靶进行磁控溅射,制备得到需要的薄膜;其中,所述薄膜中的稀土的掺杂量通过Sb靶表面贴置的稀土靶材的数量来调控;

在所述的步骤(b)中,稀土靶材切割成规则的扇形结构,并且扇形所对的圆心角的度数为30°;

在所述的步骤(c)中,磁控溅射时的衬底为SiO2/Si(100)基片;磁控溅射时的电源采用射频电源,且溅射功率为25-35W;磁控溅射采用的溅射气体为Ar气。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜制备方法,其特征在于:所述Ar气的纯度为体积百分比99.999%以上,气体流量为15~45SCCM,溅射气压为0.10~0.35Pa。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜制备方法,其特征在于:制备得到的薄膜的总厚度为

50nm。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜制备方法,其特征在于:所述的稀土靶材和Sb靶材的纯度在原子百分比99.999%以上,本底真空度不大于1×10-4Pa。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜制备方法,其特征在于:制备得到的薄膜的厚度通过磁控溅射的溅射时间来调控。