1.一种复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于,包括:衬底,所述衬底中形成有源区、漏区以及位于所述源区及漏区之间的沟道区;
第一栅介质层,覆盖于所述沟道区靠近源区的第一部分表面;
第二栅介质层,覆盖于所述沟道区靠近漏区的第二部分表面,且所述第二栅介质层的厚度大于所述第一栅介质层的厚度;
P+型多晶硅栅,结合于所述第一栅介质层表面;
N+型多晶硅栅,结合于所述第二栅介质层表面。
2.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述沟道区靠近漏区区域形成有P+型掩埋层,以减小复合多晶硅栅MOS器件的关态电流。
3.根据权利要求2所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述P+型掩埋层的掺杂离子为硼。
4.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述P+型多晶硅栅及N+型多晶硅栅之间具有隔离层。
5.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述第二栅介质层的厚度为所述第一栅介质层的厚度的1.1~2倍。
6.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述P+型多晶硅栅与N+型多晶硅栅的宽度相等。
7.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述P+型多晶硅栅的掺杂离子为硼,所述N+型多晶硅栅的掺杂离子为砷。
8.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件,其特征在于:所述衬底为硅衬底,所述第一栅介质层及第二栅介质层为二氧化硅层。
9.一种复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于,包括步骤:步骤1),提供一衬底,于所述衬底靠近欲制备漏区的区域进行离子注入,形成P+型掩埋层;
步骤2),于所述衬底表面形成第一栅介质层,并对欲制备N+型多晶硅栅处的第一栅介质层进行加厚,形成第二栅介质层;
步骤3),分别于沟道区上方的第一栅介质层上制作第一多晶硅,于沟道上方的第二栅介质层上制作第二多晶硅,且所述第一多晶硅及第二多晶硅之间形成有隔离层;
步骤4),制作第二掩膜层,于所述第一多晶硅靠近源区的部分表面打开注入窗口,通过注入方向朝源区倾斜的离子注入工艺对所述第一多晶硅进行P型离子注入,形成P+型多晶硅栅;
步骤5),制作第三掩膜层,于所述第二多晶硅靠近漏区的部分表面打开注入窗口,通过注入方向朝漏区倾斜的离子注入工艺对所述第二多晶硅进行N型离子注入,形成N+型多晶硅栅。
10.根据权利要求9所述的复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于:所述第二栅介质层的厚度为所述第一栅介质层的厚度的1.1~2倍。
11.根据权利要求9所述的复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于:步骤1)包括:
1-1)提供一衬底,于所述衬底表面形成第一掩膜层,并于靠近欲制备漏区的区域打开注入窗口;
1-2)基于所述注入窗口,通过离子注入工艺注入P型离子,形成P+型掩埋层;
1-3)去除所述第一掩膜层。
12.根据权利要求9所述的复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于:所述衬底选用为硅衬底,步骤2)包括:
2-1)采用氧化工艺于所述硅衬底表面形成第一氧化层,作为第一栅介质层;
2-2)于所述第一氧化层表面形成氧化阻挡层,并于欲制备N+型多晶硅栅处打开氧化窗口;
2-3)采用氧化工艺加厚所述氧化窗口内的第一氧化层,形成第二氧化层,作为第二栅介质层;
2-4)去除所述氧化阻挡层。
13.根据权利要求9所述的复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于:步骤3)包括:
3-1)沉积多晶硅,采用光刻-刻蚀工艺去除多余的多晶硅,并保留沟道区上方第一栅介质层表面的多晶硅,形成第一多晶硅;
3-2)沉积隔离材料,采用光刻-刻蚀工艺去除所述第二栅介质层表面的隔离材料,并至少保留所述第一多晶硅侧壁的隔离材料,形成隔离层;
3-3)沉积多晶硅,并采用光刻-刻蚀工艺去除多余的多晶硅,保留所述第二栅介质层表面的多晶硅,形成第二多晶硅。
14.根据权利要求9所述的复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于:步骤4)进行P型离子注入的倾斜角度为5~20度,步骤5)进行N型离子注入的倾斜角度为5~15度。
15.根据权利要求1所述的复合多晶硅栅MOS器件的制造方法,其特征在于:所述P+型掩埋层的掺杂离子为硼,所述P+型多晶硅栅的掺杂离子为硼,所述N+型多晶硅栅的掺杂离子为砷。