1.一种悬浮抛光加工间隙检测方法,其特征在于:所采用的液动压抛光设备包括抛光盘,抛光液容器、抛光液容器固定板、测距传感器、螺旋机构、X轴向微调机构和Y轴向微调机构,抛光盘通过联轴器连接伺 服电机,伺服电机固定在托板上,托板连接X轴向微调机构和Y轴向微调结构且能分别在二者的作用下进行X轴向和Y轴向微调;抛光液容器设在抛光盘正下方且固定在抛光液容器固定板上,抛光液容器固定板下方设有用于对抛光液容器固定板进行高度调节的螺旋机构,抛光液容器底部设有测距传感器;通过调节X轴向微调机构和Y轴向微调机构将抛光盘与抛光液容器的中心位置对准,再调节抛光液容器底部的螺旋机构,实现抛光盘和抛光液容器在Z轴方向的相对运动,从而调整悬浮抛光的加工间隙;再利用抛光液底部安装的测距传感器检测抛光液容器的移动距离,根据抛光液容器移动的距离计算出抛光盘与抛光液容器之间的加工间隙;所述螺旋机构设在抛光液容器固定板的正下方用于调节抛光液容器和抛光盘之间的相对位置,通过测力传感器检测到的距离来实现精确的数据调整,从而实时的检测液动压力使抛光盘上下浮动时加工间隙的变动。
2.根据权利要求1所述的一种悬浮抛光加工间隙检测方法,其特征在于:所述抛光盘底部设有能够形成液动压的锲形槽。
3.根据权利要求1所述的一种悬浮抛光加工间隙检测方法,其特征在于:所述联轴器为双膜片联轴器。
4.根据权利要求1所述的一种悬浮抛光加工间隙检测方法,其特征在于:所述测距传感器为电涡流式位置传感器。
5.根据权利要求1所述的一种悬浮抛光加工间隙检测方法,其特征在于:所述测力传感器在抛光液容器底部的同一圆周上均布了三个。
6.根据权利要求1所述的一种悬浮抛光加工间隙检测方法,其特征在于:所述测力传感器采用埋入式结构安装在抛光液容器的底部。