1.一种三坐标四自由度衍射光强测量平台,其特征在于:它包括底座(1)、X轴机构(2)、Y轴机构(3)、Z轴机构(4)、旋转机构(5)和光强检测器,X轴机构(2)安装在底座(1)上,Y轴机构(3)安装在X轴机构(2)上,Z轴机构(4)安装在Y轴机构(3)上、旋转机构(5)安装在Z轴机构(4)上,光强检测器安装在旋转机构(5)上;
所述的X轴机构(2)包括:X轴底座(201)、X轴电机支架(202)、X轴伺服电机(203)、X轴联轴器(204)、X轴丝杠(205)、Y轴联接支架(206)、X轴导轨滑块(207)和X轴导轨(208);X轴电机支架(202)安装在X轴底座(201)上,X轴伺服电机(203)通过X轴联轴器(204)联接X轴丝杠(205)并安装在X轴电机支架(202)上;X轴丝杠(205)穿过Y轴联接支架(206)并与其螺纹联接;X轴导轨(208)安装在X轴底座(201)上,X轴导轨滑块(207)安装在X轴导轨(208)上并能沿其滑动,Y轴联接支架(206)安装在X轴导轨滑块(207)上带动直线X轴导轨滑块(207)做直线运动;所述的Y轴机构(3)安装在Y轴联接支架(206)上;
所述的Y轴机构(3)包括:Y轴底座(301)、Y轴电机支架(302)、Y轴伺服电机(303)、Y轴联轴器(304)、Y轴丝杠(305)、Z轴联接支架(306)、Y轴导轨滑块(307)和Y轴导轨(308);Y轴电机支架(302)安装在Y轴底座(301)上,Y轴伺服电机(303)通过Y轴联轴器(304)联接Y轴丝杠(305)并安装在Y轴电机支架(302)上;Y轴丝杠(305)穿过Z轴联接支架(306)并与其螺纹联接;Y轴导轨(308)安装在Y轴底座(301)上,Y轴导轨滑块(307)安装在Y轴导轨(308)上并能沿其滑动,Z轴联接支架(306)安装在Y轴导轨滑块(307)上带动直线Y轴导轨滑块(307)做直线运动;所述的Z轴机构(4)安装在Z轴联接支架(306)上;
所述的Z轴机构(4)包括:Z轴底座(401)、Z轴电机支架(402)、Z轴伺服电机(403)、Z轴联轴器(404)、Z轴丝杠(405)、旋转机构联接支架(406)、Z轴导轨滑块(407)和Z轴导轨(408);Z轴电机支架(402)安装在Z轴底座(401)上,Z轴伺服电机(403)通过Z轴联轴器(404)联接Z轴丝杠(405)并安装在Z轴电机支架(402)上;Z轴丝杠(405)穿过旋转机构联接支架(406)并与其螺纹联接;Z轴导轨(408)安装在Z轴底座(401)上,Z轴导轨滑块(407)安装在Z轴导轨(408)上并能沿其滑动,旋转机构联接支架(406)安装在Z轴导轨滑块(407)上带动直线Z轴导轨滑块(407)做直线运动;所述的旋转机构(5)安装在旋转机构联接支架(406)上;
所述的旋转机构(5)包括:旋转机构电机支架(501)、旋转机构伺服电机(502)、旋转机构联轴器(503)、旋转机构传动轴(504)、旋转机构挡圈轴套(505)和检测器联接支架(506);
旋转机构电机支架(501)安装在旋转机构联接支架(506)上,旋转机构伺服电机(502)安装在旋转机构电机支架(501)上,旋转机构伺服电机(502)通过旋转机构联轴器(503)联接旋转机构传动轴(504),旋转机构挡圈轴套(505)安装在旋转机构传动轴(504)上;检测器联接支架(506)安装在旋转机构传动轴(504)上并与旋转机构挡圈轴套(505)固连在一起,随旋转机构挡圈轴套(505)一起做旋转运动,旋转角度大于180度;衍射光强检测器安装在检测器联接支架(506)上。