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专利号: 2016100406207
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于纳米级单层Bi(1-x)CaxFeO3-x/2阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,采用水热法制备Bi(1-x)CaxFeO3-x/2靶材,具体步骤如下:(1)、原料混合:

将Bi(NO3)3·5H2O3、Ca(NO3)2·4H2O3和Fe(NO3)3·9H2O3,按(1-x)∶x∶1的摩尔比混合,其中,0.0001≤x≤0.03;

将上述混合物溶于10%-20%的稀硝酸中,放在磁力搅拌器上,进行搅拌,使其完全溶解;

(2)、粉体制备

向上述溶液中缓慢滴加NaOH溶液直至沉淀完全,过滤沉淀并用去离子水洗涤,滴加NaOH溶液并调节pH值,并装入反应釜中,放入事先达到确定温度200℃的恒温干燥箱内,水热反应24小时;

水热反应后,将反应釜自然冷却至室温,将反应釜中所得的样品用去离子水反复清洗直到去除所有可溶性盐,于60℃下烘干后得到Bi(1-x)CaxFeO3-x/2粉体;

(3)、造粒:

将上述粉体进行造粒:按待造粒混合料质量的2-5%,加入质量百分比浓度为2-5%的聚乙烯醇溶液,拌和均匀后,过40目筛进行造粒;

(4)、Bi(1-x)CaxFeO3-x/2靶材的压制成型:将经过造粒后的物料置于压片机上压制成块;然后,将所得块状物料切割成直径为20-

150mm,厚度为2-50mm的圆片,即得Bi(1-x)CaxFeO3-x/2靶材;

第二步,选取下电极:

取Si基片,以Pt或Au为靶材,采用脉冲激光方法或磁控溅射方法,将Pt或Au沉积在Si基片上,形成以Si基片为衬底、材质为Pt或Au的下电极;

第三步,将所得到的Bi(1-x)CaxFeO3-x/2靶材,采用脉冲激光方法或磁控溅射方法沉积在上述下电极的上表面上;

然后,在700-900℃下热处理10-30分钟,得到化学成分为Bi(1-x)CaxFeO3-x/2的单层陶瓷纳米薄膜;

第四步,以材质为Au、Ag或Pt的靶材,采用脉冲激光方法、磁控溅射方法,将Au、Ag或Pt沉积在上述的化学成分为Bi(1-x)CaxFeO3-x/2的单层陶瓷纳米薄膜上,制得上电极,即得单层纳米阻变膜忆阻器;

或者:

将In-Ga电极液,采用表面印刷方法镀在上述的化学成分为Bi(1-x)CaxFeO3-x/2的单层陶瓷纳米薄膜上,制得上电极,即得单层纳米阻变膜忆阻器。

2.根据权利要求1所述的基于纳米级单层Bi(1-x)CaxFeO3-x/2阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,所述上电极的厚度为10nm-50um。

3.根据权利要求1所述的基于纳米级单层Bi(1-x)CaxFeO3-x/2阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,所述单层陶瓷纳米薄膜的厚度为10-990nm。