1.一种劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,包括光源(1)、透镜(2)、狭缝装置(3)、平面镜(4)和光屏(5),所述光源(1)发出的光经透镜(2)、狭缝装置(3)和平面镜(4)后在光屏(5)上产生干涉条纹,其特征在于:还包括光电转化装置(10)、数据处理模块(11)、杠杆联动装置(9)和底板(12),所述光电转化装置(10)的探测头与光屏(5)连接,所述光电转化装置(10)输出端与数据处理模块(11)输入端电连接,所述平面镜(4)通过导向装置(8)安装于杠杆联动装置(9)的一端顶部,杠杆联动装置(9)的另一端底部设置载物台(6),所述杠杆联动装置(9)和导向装置(8)均固定于底板(12)上。
2.根据权利要求1所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述杠杆联动装置(9)包括支座(9.1)、转轴(9.2)、支板(9.3)、支架(9.4)和旋转块(9.5),所述支座(9.1)固定于底板(12)上,所述转轴(9.2)固定于支座(9.1)上,所述旋转块(9.5)套在转轴(9.2)上,所述支板(9.3)和支架(9.4)分别固定于旋转块(9.5)两端,支板(9.3)上设有刻度线,所述平面镜(4)通过导向装置(8)安装于支架(9.4)上,所述载物台(6)设置于支板(9.3)底部。
3.根据权利要求2所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述导向装置(8)包括横杆(8.1)、竖杆(8.2)和圆柱筒(8.3),所述圆柱筒(8.3)固定于底板(12)上,圆柱筒(8.3)中心沿轴向开有贯穿的通孔(8.4),圆柱筒(8.3)侧壁中部沿径向开有贯穿的导向孔(8.5),通孔(8.4)与导向孔(8.5)连通,所述横杆(8.1)穿过圆柱筒上的导向孔其两端套在支架(9.4)上,所述竖杆(8.2)底部伸入到圆柱筒的通孔内与圆柱筒内部的横杆(8.1)固定连接,所述平面镜(4)固定于竖杆(8.2)顶部。
4.根据权利要求3所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述导向孔(8.5)沿竖直方向的尺寸大于横杆(8.1)沿竖直方向的尺寸,导向孔(8.5)沿水平方向的尺寸等于横杆(8.1)沿水平方向的尺寸。
5.根据权利要求3所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述支架(9.4)包括固定板(9.6)和两个侧安装板(9.7),所述固定板(9.6)固定于旋转块(9.5)一侧,两个侧安装板(9.7)分别固定于固定板(9.6)两侧并垂直于固定板,侧安装板(9.7)上开有滑孔(9.8),所述横杆(8.1)两端分别位于两个侧安装板的滑孔(9.8)内。
6.根据权利要求5所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述滑孔(9.8)沿竖直方向的尺寸等于横杆(8.1)沿竖直方向的尺寸,滑孔(9.8)沿水平方向的尺寸大于横杆(8.1)沿水平方向的尺寸。
7.根据权利要求2所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述支座(9.1)位于支板底部的一侧设有导轨(13),所述载物台(6)安装于导轨(13)上。
8.根据权利要求1所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置,其特征在于:所述光电转化装置(10)为光电探测仪。