1.一种提高Cu2ZnSnS4半导体薄膜载流子迁移率的方法,其特征在于:在清洗后的钠钙玻璃(SLG)上制备Si薄膜,在Si薄膜上制备CZT前驱体薄膜,将制备好的CZT前驱体薄膜在通有H2S的退火炉中高温退火,得到CZTS半导体薄膜;利用Si去替位Sn,Si的掺杂在晶粒与晶粒之间形成了快速通道,从而提高了载流子迁移率。
2.如权利要求1所述的一种提高Cu2ZnSnS4半导体薄膜载流子迁移率的方法,其特征在于:通过控制制备的Si薄膜的厚度来控制掺杂浓度,从而得到载流子迁移率不同程度提高的Cu2ZnSnS4半导体薄膜。
3.如权利要求1所述的一种提高Cu2ZnSnS4半导体薄膜载流子迁移率的方法,其特征在于:Si薄膜的厚度控制在5-15nm;随着Si薄膜的厚度的增加,Cu2ZnSnS4半导体薄膜的载流子迁移率变大。
4.如权利要求2或3所述的一种提高Cu2ZnSnS4半导体薄膜载流子迁移率的方法,其特征在于:Si薄膜的厚度控制15nm。
5.如权利要求1所述的一种提高Cu2ZnSnS4半导体薄膜载流子迁移率的方法,其特征在于按以下步骤实施:(1)钠钙玻璃(SLG)的清洗:将钠钙玻璃分别用碱性溶液,丙酮,乙醇,去离子水超声清洗30分钟,并用氮气吹干;
(2)Si薄膜的制备,将清洗干净的钠钙玻璃放入溅射腔体,以Si靶材作为溅射靶材,以体积浓度为99.999%的氩气作为工作气体,工作气压控制在0.7pa,溅射功率控制在60W,通过控制溅射时间,制得不同厚度的Si薄膜;
(3)CZT前躯体薄膜制备,CZT前躯体薄膜的制备主要采用Cu,Zn,Sn三金属靶材进行共溅射,将钠钙玻璃衬底与制备得到的Si薄膜放入溅射腔体,以体积浓度为99.999%的氩气作为工作气体,工作压强为0.7pa,Cu,Zn,Sn三靶材所用的功率分别为10W,80W,46W,溅射时间为30min;
(4)CZTS半导体薄膜的制备,将沉积好的CZT金属前躯体在通有H2S的退火炉中高温退火,温度控制在550℃,时间控制在120分钟。
6.如权利要求5所述的一种提高Cu2ZnSnS4半导体薄膜载流子迁移率的方法,其特征在于:步骤(2)中溅射时间为5min,制得到5nm的Si薄膜;溅射时间为10min,制得到10nm的Si薄膜;溅射时间为15min,制得到15nm的Si薄膜。