1.一种氮掺杂二氧化钛薄膜材料的制备方法,其特征在于:所述制备方法为利用氮离子束将氮元素掺杂注入二氧化钛薄膜表面,得到氮掺杂二氧化钛薄膜材料;
所述二氧化钛薄膜的晶体结构为非晶、多晶或非晶与多晶的混合。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述掺杂注入的温度为室温。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氮离子束与二氧化钛薄膜表面的距离为5-15cm。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述掺杂注入的时间为5-20min。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述产生氮离子束的离子源功率密度为0.5-4.0W/cm2。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述产生氮离子束的离子源阳极电压为500-3500V。