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专利号: 2016102866686
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,将预先开设有一中心通孔的掩模板水平放置在聚合物基板上,并在掩模板的上表面均匀涂抹上一层强力粘结胶;

然后,在聚合物基板的掩模板所在一侧的表面上沉积一层金属,形成金属涂层;

上述金属涂层的厚度小于所述掩模板的厚度;

第二步,在上述金属涂层上再涂上一层紫外光刻胶,使用紫外光照射至固化定型,制得待测板片;

此时,待测板片上的紫外光刻胶层的上表面为一平面;

第三步,将待测板片的紫外光刻胶一侧表面通过第一真空吸盘吸附在拉力测试装置的载物台上,另一侧表面通过带有挂钩的第二真空吸盘吸附住,并将第二真空吸盘的挂钩勾挂在拉力测试装置上;

上述中心通孔的边界线全部处于上述第一真空吸盘所覆盖的区域内部;

第四步,启动拉力测试装置,沿待测板片的垂直方向上施加拉力,直至待测板片的金属涂层与聚合物基板结合面分离;与此同时,记录拉力测试装置的读数F0;

并按下式计算得到金属涂层与聚合物基板之间的粘结力F:F=F0-(G1+G2);

上式中:G1为聚合物基板的重量,G2为第二真空吸盘的重量。

2.根据权利要求1所述的聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法,其特征在于,当中心通孔的边界线全部处于上述第一真空吸盘所覆盖的区域内部的上方时,中心通孔的中心点与第一真空吸盘的中心点之间的连线垂直于聚合物基板所在平面。

3.根据权利要求1或2所述的聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法,其特征在于,所述金属涂层是采用磁控溅射、热喷涂或电镀方法沉积上去的。