欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2016103352660
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种4H-SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管,包括从下到上依次层叠设置的集电极金属、P型集电极区、N型漂移区、N型的电流增强层、P型基体区、P型体接触区和N型发射区、发射极金属,所述P型体接触区和N型发射区为同层并列设置;

其特征在于,还包括第一沟槽与第二沟槽,所述第一沟槽与第二沟槽自器件的上表面穿透P型基体区终止在N型漂移区内;所述第一沟槽内填充第一氧化层和第一多晶硅,形成槽栅结构;所述第二沟槽内的第二多晶硅底部被重掺杂的P型区与N型漂移区隔开,侧面被第二氧化层与P型体接触区、P型基体区及N型漂移区隔开;所述的重掺杂的P型区通过第二多晶硅与发射极连接;

所述4H-SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管还包括N型缓冲层,N型缓冲层设置在P型集电极区和N型漂移区之间形成穿通IGBT;所述N型缓冲层的掺杂浓度要比所述N型漂移区的掺杂浓度高。

2.根据权利要求1所述的一种4H-SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管其特征在于:所述的第一沟槽的深度与所述的第二沟槽的深度相同。

3.根据权利要求1所述的一种4H-SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管其特征在于:所述的N型的电流增强层的掺杂浓度要比所述N型漂移区的掺杂浓度要高。