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专利号: 2016103510772
申请人: 陕西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种非对称传输结构,包括结构本体(1),其特征在于:所述结构本体(1)包括多个传输单元(2),所述多个传输单元(2)设有相交的第一缝隙(3)和第二缝隙(4);

所述第二缝隙(4)与第一缝隙(3)之间有一锐角β,且β的数值范围为30°~60°。

2.根据权利要求1所述的一种非对称传输结构,其特征在于:所述传输单元(2)为长方体,所述长方体的长度a、宽度b的数值范围均为150nm~200nm,高度t的数值范围为20nm~

80nm。

3.根据权利要求2所述的一种非对称传输结构,其特征在于:所述第一缝隙(3)与所述长方体的宽度b方向相平行,且所述第一缝隙(3)的长度与所述长方体的宽度b相等,第一缝隙(3)宽度c的数值范围为20nm~50nm;所述第二缝隙(4)的长度e方向和宽度d方向之间的夹角α的数值范围为30°~90°,且第二缝隙(4)的长度e、宽度d的数值范围分别90nm~

150nm、30nm~70nm。

4.权利要求1-3任一项所述的一种非对称传输结构的制备方法,其特征在于:具体包括如下步骤:步骤一、清洗:选取ITO玻璃作为基底,并将其放入洗涤液中清洗,再依次用去离子水Ⅰ、丙酮、酒精、去离子水Ⅱ超声清洗,最后用氮气枪吹干放入氮气柜备用;

步骤二、涂光刻胶:用甩胶机在所述步骤一清洗后的基底上甩SU-8光刻胶;

步骤三、涂胶后烘:将所述步骤二甩胶后的基底放置在热板上烘烤;

步骤四、曝光:对所述步骤三烘烤后的基底,用图形发生器设计结构图形,并用电子束曝光图形,得到曝光后的基底;

步骤五、显影:室温条件下,将所述步骤四曝光后的基底放入显影液中浸泡显影;

步骤六、定影:将所述步骤五浸泡显影的基底放入定影液中浸泡,时间不少于60s;

步骤七、显影后烘:将所述步骤六定影浸泡的基底放置在热板上烘烤;

步骤八、真空镀金:将所述步骤七烘烤后的基底放入电子束真空蒸发镀膜机中,蒸镀钛后再蒸镀金,蒸镀完冷却10min~20min后再取出;

步骤九、光刻胶去除:采用lift-off工艺,用去胶液剥离所述步骤八真空镀金后的基底上的SU-8光刻胶,时间至少为30min;

步骤十、用氮气枪吹干所述步骤九处理后的基底,非对称传输结构制备完成。

5.根据权利要求4所述的一种非对称传输结构的制备方法,其特征在于:所述步骤一中ITO玻璃的尺寸为1~3英寸,洗涤液为洗洁精或者洗手液,去离子水Ⅰ、丙酮、酒精依次超声清洗的时间为15min,去离子水Ⅱ超声清洗的时间为5min。

6.根据权利要求4所述的一种非对称传输结构的制备方法,其特征在于:所述步骤二中SU-8光刻胶的厚度为200nm,所述甩胶机的转速为1000rpm,时间为60s。

7.根据权利要求4所述的一种非对称传输结构的制备方法,其特征在于:所述步骤三、步骤七中热板的温度均为150℃,且烘烤时间均为3min~15min;所述热板放置于超净室内的通风处,且热板的温度精度为±1℃。

8.根据权利要求4所述的一种非对称传输结构的制备方法,其特征在于:所述步骤五中的显影液由四甲基二戊酮与异丙醇以体积比为3:1配合制成,且显影时间为60s。

9.根据权利要求4所述的一种非对称传输结构的制备方法,其特征在于:所述步骤八中真空蒸发镀膜机的真空度不大于3×10-6torr,蒸镀钛、金的厚度分别为10nm、40nm。