1.一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，采用脉冲激光沉积法制备，靶材采用高纯的氧化锌和氮化镓，分别装载在相距30度角的靶材托盘上，靶材和衬底之间的距离保持在7cm，具体包括如下几个步骤：

1)衬底清洗，用氮气吹干后放入真空腔，

2)采用机械泵和分子泵的抽真空使得沉积室的真空度达到5×10-7Torr，通入高纯氮气，气体流量为30sccm，静置一段时间使得沉积室内的真空度稳定为1.2×10-2Torr，

3)预沉积，衬底采用分隔板遮挡，用激光对氧化锌和氮化镓靶材进行预轰击，

4)激光先轰击氧化锌靶材25次，然后转换到氮化镓靶材轰击25次，如此为一个循环，重复循环300次，

5)通入高纯氮气冷却后得到氧化锌/氮化镓复合薄膜。

2.根据权利要求1所述的氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述衬底为蓝宝石衬底。

3.根据权利要求1所述的氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)中的清洗过程为将蓝宝石衬底分别在丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗15分钟。

4.根据权利要求1所述的氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤3)和步骤4)中激光轰击靶材时的激光波长为248nm，能量为220mJ，频率为3Hz。

5.根据权利要求1所述的氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤4)中，靶材和衬底均以20转/分的速率进行旋转。

6.根据权利要求1所述的氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤5)中通入高纯氮气使真空腔内的压强保持在1×104Torr。