1.一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,其特征在于:所述检测装置包括偏振激光器,所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜,所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜,所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面;所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜,所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第一汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器,所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。
2.如权利要求1所述的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,其特征在于:所述检测装置还包括第二汇聚镜,所述第二汇聚镜位于反射镜远离分光棱镜的一侧,所述第二汇聚镜的出光方向布置用于实现散射检测的第二光电探测器,所述第二汇聚镜与分光棱镜位于同一光轴上。
3.如权利要求1或2所述的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,其特征在于:所述分光棱镜的反射角为90°。
4.如权利要求1或2所述的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,其特征在于:所述反射镜为90°反射角的反射镜。