1.一种MEMS湍流传感器的封装方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)、在中空壳体(1)顶端内安装十字梁(4)及纤毛(5);
(2)、在中空壳体(4)顶端用UV胶粘连保护罩(3),再用紫外线将UV胶固化;
(3)、将传感器引线后放入parylene薄膜淀积系统中,加入parylene颗粒到薄膜淀积系统的料槽中,开启机器,经过一段时间后,传感器表面就淀积了一层致密parylene薄膜。
2.一种MEMS湍流传感器,其特征在于:包括中空壳体(1),所述中空壳体(1)侧壁设置出水孔(6),所述中空壳体(1)顶端内安装十字梁(4)及纤毛(5);所述中空壳体(1)顶端面均布设置保护杆(2);所述中空壳体(1)顶端加盖保护罩(3),所述纤毛(5)穿出保护罩(3);
该传感器引线后保形均匀淀积parylene薄膜。
3.根据权利要求2所述的MEMS湍流传感器,其特征在于:所述parylene薄膜厚度2微米。
4.根据权利要求2或3所述的MEMS湍流传感器,其特征在于:所述中空壳体(1)材料为
316不锈钢,其尺寸为:壳体长度为3cm,外径为1cm,内径为4mm,壳体壁厚3mm,侧壁同一高度设置有四个出水孔,出水孔的中心到壳体上端为1cm,出水孔的直径为2mm。
5.根据权利要求4所述的MEMS湍流传感器,其特征在于:所述中空壳体(1)顶端面均布4个保护杆(2);所述保护杆(2)材料是316不锈钢,其尺寸为:杆长1cm,直径为2mm;保护杆投影面中心与中空壳体顶端面中心距离3.5mm。
6.根据权利要求5所述的MEMS湍流传感器,其特征在于:所述保护罩(3)材料为尼龙,其下口外径5mm,上口外径1mm,壁厚500微米。
7.根据权利要求5所述的MEMS湍流传感器,其特征在于:所述保护杆(2)和出水孔(6)位置对应,即保护杆(2)轴线与出水孔(6)轴线正交。