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专利号: 2016105479011
申请人: 厦门理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.晶圆级LED芯片的反射层制备方法,包括以下步骤:

S1,制备LED的硅基板,所述硅基板的顶面形成空腔,所述空腔设有LED晶片区,所述LED晶片区内设有硅通孔以及与之配合的电极;

S2,在空腔内注射光致抗蚀剂,然后烘焙形成光致抗蚀剂层,所述光致抗蚀剂层覆盖LED晶片区上;

S3,通过溅射方式,在硅基板的顶面涂布一层反射层,制备过程在室温环境下完成;

S4,提供装有溶剂的浸泡池,将设置反射层后的硅基板设在浸泡池中,采用超声波去除光致抗蚀剂层使LED晶片区裸露出来;

S5,在LED晶片区内设置LED晶片。

2.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:制备LED的硅基板的步骤包括:S11,提供硅基板,所述硅基板的顶面形成空腔,在空腔内开设若干个硅通孔;

S12,制备绝缘层,所述硅通孔的内侧壁与硅基板的底面均覆盖有绝缘层;

S13,制备电极,采用铜柱电极,所述电极穿设在硅通孔内,使LED晶片的两极与外界连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:定义硅基板的厚度为D,其中,0.55mm≤D≤0.65mm,定义限位槽的的深度d,其中,0.1d≤D≤0.2d。

4.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:制备反射层时,采用溅射设备在移动中进行喷射,所述溅射设备具有若干个喷射口,每次喷射在硅基板的表面形成若干个溅射点。

5.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:定义注射光致抗蚀剂的注射速度为V,其中,5mm/s≤V≤10mm/s,注射口径为1mm~2mm,注射时间为0.1s~0.15s。

6.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:制备光致抗蚀剂层时,烘焙的温度为120℃~150℃,烘焙时间为15min~25min。

7.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:制备反射层的步骤中,制得的反射层厚度为150nm~190nm。

8.根据权利要求7所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:制得的反射层厚度为160nm~180nm。

9.根据权利要求1所述的晶圆级LED芯片的反射层制备方法,其特征在于:在LED晶片区内设置LED晶片的步骤中,包括有若干个LED晶片,所述若干个LED晶片呈阵列排布。

10.LED芯片,应用权利要求1至9任意一项制得的LED芯片,其特征在于:包括硅基板和若干LED晶片,所述若干LED晶片阵列的排布在硅基板顶面,所述硅基板顶面位于LED晶片的外围设有反射层,所述反射将LED晶片发出的光向外反射出去。