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专利号: 2016105953309
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
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摘要:

权利要求书:

1.紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:

步骤1,取Nb(CH3CH2O)5向其中加入无水乙醇,室温下搅拌5~10min,形成A溶液;

将CH3COOLi·2H2O加入到无水乙醇中,室温下搅拌并向其中加入丙烯酸,继续搅拌40~

60min,使其完全溶解,形成B溶液;

称取化学修饰剂加入到无水乙醇中,充分搅拌后,形成C溶液;C溶液中化学修饰剂为苯酰丙酮,苯酰丙酮与无水乙醇的摩尔比为1:10~15步骤2:按步骤1所得A溶液、B溶液、C溶液中Nb5+:Li+:BzAcH=1:1:1,将A溶液、B溶液与C溶液均匀混合,随后向其中加入无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3~0.5mol/L,即得紫外感光LiNbO3溶胶。

2.根据权利要求1所述的紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法,其特征在于,A溶液中Nb5+与无水乙醇的摩尔比为1:20。

+

3.根据权利要求1所述的紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法,其特征在于,B溶液中Li 与无水乙醇的摩尔比为1:10~20,Li+与丙烯酸的摩尔比为1:2。

4.一种使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,基于权利要求1的紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法得到的紫外感光铌酸锂溶胶进行,其特征在于,利用紫外感光LiNbO3溶胶,通过浸渍提拉法在基板上制备凝胶薄膜,随后依次经干燥、曝光、溶洗、热处理,即得LiNbO3薄膜微细图形。

5.根据权利要求4所述的使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:以紫外感光LiNbO3溶胶为制备微细图形的前驱体物,通过浸渍提拉法在基板上制备LiNbO3凝胶薄膜,随后进行干燥,得干燥后的LiNbO3凝胶薄膜;

步骤2:采用紫外掩膜板法或激光干涉法对步骤1所得凝胶薄膜曝光,得曝光后的LiNbO3凝胶薄膜;

步骤3:将步骤2得到曝光后的LiNbO3凝胶薄膜在有机溶洗剂中溶洗,随后经热处理,即得。

6.根据权利要求5所述的使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,其特征在于,步骤1中的基板为石英基板或单晶硅基板;浸渍提拉过程中提拉速度为0.05~0.2cm/s,干燥温度为60℃~80℃,干燥时间5~10min。

7.根据权利要求5所述的使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,其特征在于,步骤2中紫外掩膜板法采用的主波长为365nm的紫外灯光源,曝光1200~1800s。

8.根据权利要求5所述的使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,其特征在于,步骤2中激光干涉法采用输出波长为325nm的He-Cd激光器,曝光400~700s。

9.根据权利要求5所述的使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,其特征在于,步骤3中有机溶洗剂为异丙醇和无水甲醇的混合液,其中,异丙醇与无水甲醇的体积比为1:3~5,溶洗时间为3s~10s;热处理温度为650℃~700℃,时间为20~30min。