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专利号: 2016106203738
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜,其特征在于,所述稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜的组分表达式为Erx(GeiSbj)y,x、y都为原子百分比,其中0<x≤0.10,0.90<y≤1,x+y=1.00,i=10,j=90。

2.如权利要求1所述的稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜,其特征在于,所述稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜中,0.006≤x≤0.024。

3.如权利要求1所述的稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜,其特征在于,所述Erx(GeiSbj)y为相变薄膜材料。

4.如权利要求1所述的稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜,其特征在于,所述稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜是在外部电脉冲或激光脉冲作用下具有可逆相变的材料。

5.如权利要求1所述的稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜,其特征在于,所述稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜通过控制铒元素的含量,同时改变Ge和Sb元素的比例,得到不同结晶温度、不同激活能和不同熔点的相变材料。

6.一种稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜的制备方法,其特征在于,其包括以下步骤:

步骤一,清洗SiO2或Si基片,清洗表面、背面,去除灰尘颗粒、有机和无机杂质;在丙酮溶液中强超声清洗3-5分钟后用去离子水冲洗,在乙醇溶液中强超声清洗3-5分钟后用去离子水冲洗,用高纯N2吹干表面和背面,在120℃烘箱内烘干水汽,20分钟;

步骤二,采用磁控溅射方法制备铒掺杂改性的相变材料前准备,具体过程如下:装好GeSb溅射靶材,将稀土片直接放置于Sb靶表面,靶材的纯度均达到99.999%,并将本底真空抽至1×10-4Pa,设定溅射功率为30W,使用高纯Ar作为溅射气体,设定Ar气流量为30SCCM,并将溅射气压调节至0.3Pa;或者采用单靶磁控溅射方法制备相变薄膜,具体过程如下:将空基托旋转到需要溅射的靶位,打开靶上所施加的射频电源,依照设定的溅射时间,开始进行溅射,清洁靶材表面,靶材表面清洁完成后,关闭靶上所施加的直流电源,将待溅射基片旋转到靶位,开启靶位电源,依照设定的溅射时间,开始溅射薄膜。