1.一种基于超颖材料的太赫兹三波段窄带带通滤波器,其特征在于:包括一个以上的在空间周期正方排列的带通滤波器模块,所述带通滤波器模块包括第一结构化金属层、介质层和第二结构化金属层,所述第一结构化金属层、介质层和第二结构化金属层依次设置形成金属-介质-金属三明治结构;所述第一结构化金属层为三个嵌套金属方环谐振单元按正方周期排列构成的金属表面,这三个嵌套金属方环谐振单元分别为第一方环谐振单元(1)、第二方环谐振单元(2)和第三方环谐振单元(3);所述第二结构化金属层为单个十字形金属谐振单元(6)按正方周期排列而构成的金属栅格;其中,嵌套的三个金属方环谐振单元分别与介质层(5)和十字形金属谐振单元(6)组成一种滤波器单元。
2.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:所述第一结构化金属层、第二结构化金属层分别镀在介质层正反两面。
3.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:所述带通滤波器模块的个数为25×25个,且25×25个滤波器单元在空间周期正方排列。
4.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:所述第一结构化金属层和第二结构化金属层采用的材料为铜。
5.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:所述介质层(5)采用的材料为聚酰亚胺,且介质层(5)的相对介电常数ε=2.9,损耗角正切tan(δ)=0.02。
6.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:第一、第二结构化金属层的厚度均为180-220nm。
7.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:三个嵌套金属方环谐振单元由外向内其外边长分别为57.2~58.2μm、42.8~43.2μm和30.8~31.2μm,宽均为2.8~3.2μm,所述十字形金属谐振单元长为59.8~60.2μm,宽为0.8~1.2μm。
8.根据权利要求1所述的太赫兹三波段超颖材料窄带带通滤波器,其特征在于:三个嵌套金属方环谐振单元由外向内其外边长分别为58μm、43μm和31μm,宽均为3μm,所述十字形金属谐振单元长为60μm,宽为1μm。