1.一种亚稳奥氏体不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于,所述方法按如下步骤进行:
(1)对亚稳奥氏体不锈钢表面进行喷砂处理,所述喷砂处理采用30~320目的玻璃砂,工作压力为0.1~0.5MPa,喷砂时间为1~30min;
(2)通过磁控溅射技术在经过步骤(1)处理的亚稳奥氏体不锈钢表面沉积Cr/CrN过渡层,操作方法为:将经过步骤(1)处理的亚稳奥氏体不锈钢置于非平衡磁控溅射仪中,先用Ar等离子体清洗,基体偏压为400~500V,时间为20~30min;再沉积Cr层,基体偏压为60~
100V,沉积时间为10~150min;然后在真空室中通入氮气,进行CrN反应磁控溅射沉积,N2的体积流量在90~1200min的沉积时间内从20sccm逐渐升高到30sccm,得到表面沉积有Cr/CrN过渡层的奥氏体不锈钢;
(3)将步骤(2)所得表面沉积有Cr/CrN过渡层的奥氏体不锈钢先浸没于金刚石微粉的丙酮悬浮液中,20~80KHz超声振荡5~40min,再浸没于丙酮中,20~80KHz超声振荡1~
30s,干燥后,通过化学气相沉积工艺,在沉积温度600~700℃、沉积气压1.3~6KPa、偏流1~4A、丙酮载气与氢气流量比为0.3~0.45:1、沉积时间60~180min的条件下,在Cr/CrN过渡层上沉积金刚石薄膜,制得成品。
2.如权利要求1所述的亚稳奥氏体不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于,步骤(1)中,所述的亚稳奥氏体不锈钢为200系列Cr-Mn型奥氏体不锈钢或300系列Cr-Ni型奥氏体不锈钢。
3.如权利要求1所述的亚稳奥氏体不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于,步骤(1)中,所述的亚稳奥氏体不锈钢的产品牌号为201、202、301或304。
4.如权利要求1所述的亚稳奥氏体不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于,步骤(3)中,所述金刚石微粉的粒度为W0.2~W2。
5.如权利要求1所述的亚稳奥氏体不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于,步骤(3)中,所述金刚石微粉的丙酮悬浮液的浓度为0.005~0.02g/mL。