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专利号: 2016108130604
申请人: 浙江理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法,其特征在于,步骤如下:量取还原氧化石墨烯水溶液1-3mL,加入100mL的去离子水中,搅拌、超声,直至分散均匀,再用砂芯过滤装置进行抽滤,抽滤结束后,将滤膜取出,放到70℃鼓风干燥箱中干燥1h;

取已经固化好的PDMS,通过按压的方式将滤膜上的还原氧化石墨烯转印到已经固化好的PDMS上,随后将PDMS泡在丙酮中,溶解滤膜,最后将附有还原氧化石墨烯薄膜的PDMS放到

70℃鼓风干燥箱中干燥;

将附有还原氧化石墨烯薄膜的PDMS剪出一个长方形,用叉指图案做掩膜版,进行磁控溅射,在还原氧化石墨烯薄膜表面镀上金叉指电极;磁控溅射在氩气氛围中进行,具体参数如下:保持背底真空6.0-4.0×10-4 Pa,溅射气压为1.0 Pa,溅射功率为60W,溅射时间为

7.5min,靶基距为50mm,气体流量为23sccm,室温条件下沉积;

将镀上金叉指电极的还原氧化石墨烯柔性薄膜嵌入面包板上,用铂丝连接内外引线,便制得还原氧化石墨烯的湿敏传感器。

2.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法,其特征在于,所述还原氧化石墨烯水溶液的浓度小于1mg/mL。

3.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法,其特征在于,所述砂芯过滤装置中的滤膜为可溶于丙酮的水溶性滤膜。

4.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法,其特征在于,所述叉指图案的叉指间距为200um。