1.一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤如下：(1)量取还原氧化石墨烯水溶液1-3mL，加入100mL的去离子水中，搅拌、超声，直至分散均匀，再用砂芯过滤装置进行抽滤，抽滤结束后，将滤膜取出，放到70℃鼓风干燥箱中干燥

1h。

(2)取已经固化好的PDMS，通过按压的方式将滤膜上的还原氧化石墨烯转印到已经固化好的PDMS上，随后将PDMS泡在丙酮中，溶解滤膜，最后将附有还原氧化石墨烯薄膜的PDMS放到70℃鼓风干燥箱中干燥。

(3)将将附有还原氧化石墨烯薄膜的PDMS剪出一个长方形，用叉指图案做掩膜版，进行磁控溅射，在还原氧化石墨烯薄膜表面镀上金叉指电极。磁控溅射在氩气氛围中进行，具体参数如下：保持背底真空6.0-4.0×10-4Pa，溅射气压为1.0Pa，溅射功率为60W，溅射时间为

7.5min，靶基距为50mm，气体流量为23sccm，室温条件下沉积。

(4)将镀上金叉指电极的还原氧化石墨烯柔性薄膜嵌入面包板上，用铂丝连接内外引线，便制得还原氧化石墨烯的湿敏传感器。

2.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，其特征在于，所述还原氧化石墨烯水溶液的浓度小于1mg/mL。

3.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，其特征在于，所述砂芯过滤装置中的滤膜为可溶于丙酮的水溶性滤膜。

4.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，其特征在于，所述叉指图案的插指间距为200um。