1.一种双列式二维时栅直线位移传感器，包括定尺(1)和与定尺平行正对且留有间隙的动尺(2)，其特征在于：所述定尺(1)包括定尺基体(11)，设在定尺基体正对动尺一面且沿X方向相互平行的第一、第二激励线圈(12、13)，设在第一、第二激励线圈之上的第二布线层(16)和设在第二布线层(16)内且沿Y方向相互平行的第三、第四激励线圈(14、15)；

所述第一、第二激励线圈(12、13)都沿X方向呈矩形波绕制，该矩形波的幅值为L1、周期为W1、占空比为0.5，第二激励线圈(13)的起始位置与第一激励线圈(12)的起始位置相差所述第三、第四激励线圈(14、15)都沿Y方向呈矩形波绕制，该矩形波的幅值为L2、周期为W2、占空比为0.5，第四激励线圈(15)的起始位置与第三激励线圈(14)的起始位置相差所述动尺(2)包括动尺基体(21)和设在动尺基体正对定尺一面的第一、第二、第三、第四感应线圈(22、23、24、25)；所述第一感应线圈(22)沿周期为W1的曲线绕制，形成第一感应线圈绕线轨迹，所述第二感

应线圈(23)沿周期为W1的曲线 绕制，形成

第二感应线圈绕线轨迹，其中，i1依次取值0至j1-1中的所有整数，j1为整数且0＜j1＜N1，N1表示第一、第二激励线圈的矩形波周期数，b1为常数，且b1不等于0，A1表示第一、第二感应线圈绕线轨迹的幅值，且A1＜L1；所述第三感应线圈(24)沿周期为W2的曲线绕制，形成第三感应线圈绕线轨迹，所述

第四感应线圈(25)沿周期为W2的曲线 绕制，形

成第四感应线圈绕线轨迹，其中，i2依次取值0至j2-1中的所有整数，j2为整数且0＜j2＜N2，N2表示第三、第四激励线圈的矩形波周期数，b2为常数，且b2不等于0，A2表示第三、第四感应线圈绕线轨迹的幅值，且A2＜L2；

第一感应线圈(22)与第二感应线圈(23)串联，第三感应线圈(24)与第四感应线圈(25)串联，第一感应线圈(22)与第一激励线圈(12)正对平行，第二感应线圈(23)与第二激励线圈(13)正对平行，第三感应线圈(24)与第三激励线圈(14)正对平行，第四感应线圈(25)与第四激励线圈(15)正对平行；

所述定尺(1)还包括设在第二布线层(16)之上的定尺绝缘层(17)；所述动尺(2)还包括设在第一、第二、第三、第四感应线圈(22、23、24、25)之下的动尺绝缘层(26)；

定尺(1)的第一、第二激励线圈(12、13)中通入两相对称激励电流，第三、第四激励线圈(14、15)中通入两相对称激励电流，当动尺(2)与定尺(1)发生相对运动时，第一、第二感应线圈(22、23)输出两路感应信号，经串联叠加形成X向行波信号，第三、第四感应线圈(24、

25)输出两路感应信号，经串联叠加形成Y向行波信号，将该X向、Y向行波信号分别与同频率参考信号进行比相，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺相对定尺在X方向和Y方向的直线位移。

2.根据权利要求1所述的双列式二维时栅直线位移传感器，其特征在于：所述W1＝W2、L1＝L2、N1＝N2、A1＝A2、b1＝b2，所述j1、j2取值为4。

3.根据权利要求1或2所述的双列式二维时栅直线位移传感器，其特征在于：所述X向行波信号与同频率参考信号经整形电路整形成方波后，再进行比相；所述Y向行波信号与同频率参考信号经整形电路整形成方波后，再进行比相。