1.一种双列式时栅直线位移传感器,包括定尺(1)和与定尺平行正对且留有间隙的动尺(2),其特征在于:所述定尺(1)包括定尺基体(11)和设在定尺基体正对动尺一面且沿测量方向相互平行的第一、第二激励线圈(12、13);所述第一、第二激励线圈(12、13)都沿测量方向呈矩形波绕制,该矩形波的幅值为L、周期为W、占空比为0.5,第二激励线圈(13)的起始位置与第一激励线圈(12)的起始位置相差所述动尺(2)包括动尺基体(21)和设在动尺基体正对定尺一面的第一、第二感应线圈(22、23);所述第一感应线圈(22)沿周期为W的曲线 绕制,形成第一感应线圈绕线轨迹,所述第二感应线圈(23)沿周期为W的曲线绕制,形成第二感应线圈绕线轨迹;其中,x方向为测量方向,i依次取值0至j-1中的所有整数,j为整数且0<j<n,n表示传感器的极对数,W等于传感器的极距,b为常数,且b不等于0,A表示第一、第二感应线圈绕线轨迹的幅值,且A<L;
第一感应线圈(22)与第二感应线圈(23)串联,第一感应线圈(22)与第一激励线圈(12)正对平行,第二感应线圈(23)与第二激励线圈(13)正对平行;
所述定尺(1)还包括设在第一、第二激励线圈(12、13)之上的定尺绝缘层(14);所述动尺(2)还包括设在第一、第二感应线圈(22、23)之下的动尺绝缘层(24);
定尺(1)的第一、第二激励线圈(12、13)中通入两相对称激励电流,当动尺(2)与定尺(1)沿测量方向发生相对运动时,第一、第二感应线圈(22、23)输出两路感应信号,经串联叠加形成行波信号,将该行波信号与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到动尺相对定尺的直线位移。
2.根据权利要求1所述的双列式时栅直线位移传感器,其特征在于:所述行波信号与同频率参考信号经整形电路整形成方波后,再进行比相。