1.一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：包括介质基板（5），在介质基板（5）上设置有人工表面等离激元传输器（4），双边周期性金属光栅（6）、基片集成波导（7）、共面波导（1）和耦合器；双边周期性直金属光栅（4）左端依次连接耦合器和共面波导（1），人工表面等离激元传输器（4）右端分出两个分支分别连接双边周期性金属光栅（6）和基片集成波导（7）；人工表面等离激元传输器表面具有尺寸相同、周期一致的凹槽；共面波导（1）为导波传输结构，设置在介质基板（5）的左端，人工表面等离激元传输器（4）和双边周期性金属光栅（6）印制在介质基板（5）的正面，基片集成波导（7）印制在介质基板（5）的正反两面。

2.如权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：人工表面等离激元传输器（4）有一个输入端口和两个输出端口，在两个输出分支的拐角处采用了弧形设计。

3.如权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：所述的人工表面等离激元传输器采用长方形金属薄膜，凹槽上下垂直于长方形金属结构的长度方向，其由多个金属单元构成，金属单元的形状为H形，每个金属单元的长度和宽度均相同；凹槽位于人工表面等离激元传输器的两侧。

4.如权利要求3所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：所述的人工表面等离激元传输器（4）长方形金属膜的厚度为10mm、上下凹槽深度4mm、凹槽宽度2mm、凹槽的周期5mm。

5.如权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：双边周期性金属光栅（6）长方形金属膜的厚度为18mm、上下凹槽深度8mm、凹槽宽度2mm、凹槽的周期5mm。

6.如权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：基片集成波导（7）总宽度112mm，高度18mm。

7.如权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：所述的耦合器由槽深渐变的周期性金属光栅（2）以及对称设置在周期性金属光栅（2）两侧的弧线形状的金属导体（3）组成；弧线形状的金属导体（3）的弧度方向朝向周期性金属光栅（2）。

8.如权利要求1-7任一项所述的一种基于人工表面等离激元和基片集成波导的混合型分波器，其特征在于：介质基板（5）为f4b聚四氟乙烯，介电常数2.65，损耗正切0.001，板子厚度0.5mm。