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专利号: 2016108544366
申请人: 大连交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有(400)晶面择优的铟锡氧化物薄膜材料的制备方法,其特征在于:所述制备方法为:利用磁控溅射的方法得到具有(400)晶面择优的体心立方铁锰矿相多晶铟锡氧化物薄膜材料,所述磁控溅射的功率密度为4.8-8.0W/cm2,所述铟锡氧化物薄膜材料的厚度≥100nm,所述磁控溅射的工作气体为高纯氩。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述磁控溅射的温度为室温。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述磁控溅射的靶材为高纯铟锡氧化物靶,铟锡氧化物的纯度为99.99%,其中:三氧化二铟的质量百分比为90wt.%,二氧化锡的质量百分比为10wt.%。