1.一种具有(400)晶面择优的铟锡氧化物薄膜材料的制备方法,其特征在于:所述制备方法为:利用磁控溅射的方法得到具有(400)晶面择优的体心立方铁锰矿相多晶铟锡氧化物薄膜材料,所述磁控溅射的功率密度为4.8-8.0W/cm2,所述铟锡氧化物薄膜材料的厚度≥100nm,所述磁控溅射的工作气体为高纯氩。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述磁控溅射的温度为室温。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述磁控溅射的靶材为高纯铟锡氧化物靶,铟锡氧化物的纯度为99.99%,其中:三氧化二铟的质量百分比为90wt.%,二氧化锡的质量百分比为10wt.%。