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专利号: 2016108649692
申请人: 湖北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法,其特征在于该二氧化钛薄膜氢气传感器按下列步骤制备:A.超声清洗FTO衬底,在FTO衬底上用磁控溅射法制备二氧化钛籽晶层,并在Ar保护中进行退火,温度为500℃,时间为10min;

B.水热法在二氧化钛籽晶层表面制备二氧化钛薄膜;然后样品在Ar气体保护中进行退火,温度为400℃,退火时间为20min;

C.旋涂法将退火后的钛酸锶钡纳米颗粒涂覆至退火后的二氧化钛薄膜表面上进行修饰;然后在Ar气保护中进行二次退火,退火温度为500℃,退火时间为10min;

D.磁控溅射法在退火后的钛酸锶钡纳米颗粒修饰过二氧化钛薄膜表面制备金属铂叉指电极形成氢气传感器;

该二氧化钛薄膜氢气传感器1ppm氢气浓度下灵敏度从未修饰时的8.5%提高至修饰后的11%-21%,响应时间从未修饰时的16.3s降至修饰后的8.5s-12.6s,回复时间从未修饰时的54.7s缩短至修饰后的34.6-42.3s。