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专利号: 2016108649692
申请人: 湖北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法,其特征在于:采用磁控溅射、水热和旋涂法相结合的方法,辅以分别退火处理,通过调控旋涂钛酸锶钡纳米颗粒的尺寸和分散性来实现对二氧化钛薄膜表面的修饰,制备钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器;1ppm氢气浓度下灵敏度从未修饰时的8.5%提高至修饰后的7.4%-

21%,响应时间从未修饰时的16.3s降至修饰后的8.5s-12.6s,回复时间从未修饰时的

54.7s缩短至修饰后的34.6-42.3s。

2.一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法,其特征在于具体步骤为:A.水热法制备钛酸锶钡纳米颗粒,并在空气中进行退火,退火温度为500℃,退火时间为5小时,备用;

B.超声清洗FTO衬底,在FTO衬底上用磁控溅射法制备二氧化钛籽晶层,并在Ar保护中进行退火,温度为500℃,时间为10min;

C.水热法在二氧化钛籽晶层表面制备二氧化钛薄膜;然后样品在Ar气体保护中进行退火,温度为400℃,退火时间为20min;

D.旋涂法将备用的钛酸锶钡纳米颗粒涂覆至退火后的二氧化钛薄膜表面上;然后在Ar气保护中进行二次退火,退火温度为500℃,退火时间为10min。

E.磁控溅射法在退火后的钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜表面制备金属铂叉指电极形成氢气传感器。