欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2016108661321
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜,其特征在于,所述石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜按如下方法制备得到:(1)用纳米金刚石溶液对石英衬底进行超声振荡预处理;

(2)采用热丝化学气相沉积法,在经过步骤(1)预处理的石英衬底上制备得到纳米金刚石薄膜,再将其置于500~650℃的空气中保温10~50min,即制得所述的石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜。

2.如权利要求1所述的石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜,其特征在于,所述步骤(1)的操作方法为:将纳米金刚石粉末以料液质量比1:50~150分散于去离子水中,得到纳米金刚石溶液,将石英衬底置于所得纳米金刚石溶液中,使用功率为200W的超声波振荡机进行超声波振荡

0.5~3h,之后将石英衬底依次置于去离子水、丙酮中,使用功率为200W的超声波振荡机分别进行超声清洗2min,最后干燥,备用。

3.如权利要求1所述的石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜,其特征在于,所述步骤(2)的操作方法为:将经过步骤(1)预处理的石英衬底放入热丝化学气相沉积设备,以丙酮为碳源,采用氢气A鼓泡方式将丙酮带入到反应室中,氢气B、丙酮的流量比为200:90,热丝与石英衬底的距离为6~10mm,反应功率为1600~2000W,工作气压为1.63~2.63Kpa;薄膜生长时间为5~

30min,在反应过程中不加偏压,薄膜生长结束后,在不通氢气B的条件下降温冷却至室温,即在石英衬底上制备得到纳米金刚石薄膜,再将其置于500~650℃的空气中保温10~

50min,即制得所述的石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜。

4.如权利要求1所述的石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜,其特征在于,由尺寸为300~600nm的颗粒组成,每个颗粒中包含尺寸为纳米级的金刚石晶粒和非晶碳相。