1.一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:包括圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、轮辐状弹性支撑悬梁(3);
其中,圆柱状中心锚点(2)位于圆环状谐振质量(1)的内腔,且圆柱状中心锚点(2)的轴线与圆环状谐振质量(1)的轴线相互重合;轮辐状弹性支撑悬梁(3)的数目为八个,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)围绕圆柱状中心锚点(2)的轴线等距排列;
每个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均由第一片状弹性支撑悬梁(31)、S形弹性支撑悬梁(32)、第二片状弹性支撑悬梁(33)构成;第一片状弹性支撑悬梁(31)的尾端与圆柱状中心锚点(2)的外侧面固定;S形弹性支撑悬梁(32)的尾端与第一片状弹性支撑悬梁(31)的首端固定;第二片状弹性支撑悬梁(33)的尾端与S形弹性支撑悬梁(32)的首端固定;第二片状弹性支撑悬梁(33)的首端与圆环状谐振质量(1)的内侧面固定;
八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的尺寸一致,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的高度均与圆环状谐振质量(1)的高度相等;
圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均采用单晶硅片加工而成,且圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)采用体硅加工工艺制造为一体;
圆柱状中心锚点的下端面与MEMS振动陀螺的玻璃基底键合;圆环状谐振质量的外侧面设有八个中心角为40度的弧形电极,八个弧形电极同样与MEMS振动陀螺的玻璃基底键合,且八个弧形电极的位置与八个轮辐状弹性支撑悬梁的位置一一对应;其中四个弧形电极作为驱动电极,另外四个弧形电极作为检测电极,且四个驱动电极和四个检测电极交错排列;
当没有角速度输入时,在四个驱动电极的激励下,以驱动模态作面内四波腹弯曲振动,此时四个检测电极位于四波腹弯曲振动的波节处,MEMS振动陀螺的输出为零;当有角速度输入时,在哥氏力耦合作用下,以检测模态作面内四波腹弯曲振动,此时四个检测电极位于四波腹弯曲振动的波腹处,且振动幅度与输入角速度相关,MEMS振动陀螺实时测出输入角速度。