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专利号: 2016109186096
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:包括圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、轮辐状弹性支撑悬梁(3);

其中,圆柱状中心锚点(2)位于圆环状谐振质量(1)的内腔,且圆柱状中心锚点(2)的轴线与圆环状谐振质量(1)的轴线相互重合;轮辐状弹性支撑悬梁(3)的数目为八个,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)围绕圆柱状中心锚点(2)的轴线等距排列;

每个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均由第一片状弹性支撑悬梁(31)、S形弹性支撑悬梁(32)、第二片状弹性支撑悬梁(33)构成;第一片状弹性支撑悬梁(31)的尾端与圆柱状中心锚点(2)的外侧面固定;S形弹性支撑悬梁(32)的尾端与第一片状弹性支撑悬梁(31)的首端固定;第二片状弹性支撑悬梁(33)的尾端与S形弹性支撑悬梁(32)的首端固定;第二片状弹性支撑悬梁(33)的首端与圆环状谐振质量(1)的内侧面固定。

2.根据权利要求1所述的一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的尺寸一致,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的高度均与圆环状谐振质量(1)的高度相等。

3.根据权利要求1或2所述的一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均采用单晶硅片加工而成,且圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)采用体硅加工工艺制造为一体。