1.一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:包括圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、轮辐状弹性支撑悬梁(3);
其中,圆柱状中心锚点(2)位于圆环状谐振质量(1)的内腔,且圆柱状中心锚点(2)的轴线与圆环状谐振质量(1)的轴线相互重合;轮辐状弹性支撑悬梁(3)的数目为八个,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)围绕圆柱状中心锚点(2)的轴线等距排列;
每个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均由第一片状弹性支撑悬梁(31)、第一U形弹性支撑悬梁(32)、第二U形弹性支撑悬梁(33)、第二片状弹性支撑悬梁(34)构成;第一片状弹性支撑悬梁(31)的尾端与圆柱状中心锚点(2)的外侧面固定;第一U形弹性支撑悬梁(32)的尾端和第二U形弹性支撑悬梁(33)的尾端均与第一片状弹性支撑悬梁(31)的首端固定;第二片状弹性支撑悬梁(34)的尾端分别与第一U形弹性支撑悬梁(32)的首端和第二U形弹性支撑悬梁(33)的首端固定;第一U形弹性支撑悬梁(32)和第二U形弹性支撑悬梁(33)共同围合形成封闭的圆角矩形;第二片状弹性支撑悬梁(34)的首端与圆环状谐振质量(1)的内侧面固定。
2.根据权利要求1所述的一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的尺寸一致,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的高度均与圆环状谐振质量(1)的高度相等。
3.根据权利要求1或2所述的一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均采用单晶硅片加工而成,且圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)采用体硅加工工艺制造为一体。