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专利号: 2016109487498
申请人: 莆田学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 机床;其他类目中不包括的金属加工
更新日期:2024-02-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种飞秒激光加工装置,沿激光的光路方向依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置、激光加工设备和加工平台;

所述飞秒激光装置包括泵浦光源、谐振腔、振荡器和激光放大器,所述激光放大器设置在泵浦光源的光路上,所述谐振腔和振荡器依次设置在所述泵浦光源和所述激光放大器之间的光路上,并将激光射向水平光路装置的进光口;

所述水平光路装置包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜,第一反射镜设置在水平光路装置的进光口,第二反射镜设置在第一反射镜激光反射的光路上,第三反射镜设置在第二反射镜激光反射的光路上,第四反射镜设置在第三反射镜激光反射的光路上,第五反射镜设置在第四反射镜激光反射的光路上,第二反射镜和第三反射镜之间的光路上设置有1/2波片,第三反射镜和第四反射镜之间的光路上依次设有格兰偏振片、分光镜和电动快门,激光经所述格兰偏振片分为寻常光和非寻常光,寻常光朝向所述分光镜,非寻常光的光路上设有激光终止器,激光经所述分光镜分为透射光束和反射光束,透射光束朝向所述电动快门,反射光束的光路上设有探头,第四反射镜和第五反射镜之间设有1/4波片,所述第五反射镜将激光反射至竖直光路装置的进光口;

所述竖直光路装置包括第六反射镜和扩束镜,所述第六反射镜设置在竖直光路装置的进光口,所述扩束镜设置在所述第六反射镜反射的激光光路上,所述第六反射镜将激光反射至激光加工设备的进光口;

所述激光加工设备的进光口设有二向色镜,激光经所述二向色镜分为近红外光和可视光,近红外光的光路上设有激光头,可视光的光路上设有第七反射镜,第七反射镜激光反射的光路上设有微型摄像头;

所述加工平台由下至上依次包括X方向滑动平台、Y方向滑动平台和Z方向升降样品台,所述X方向滑动平台包括第一基座、第一丝杆、第一伺服电机和第一移动面板,所述第一伺服电机设置在第一基座上,第一伺服电机的动力输出轴与第一丝杆连接,并通过第一丝杆带动第一移动面板在X轴方向上移动,所述Y方向滑动平台包括第二基座、第二丝杆、第二伺服电机和第二移动面板,所述第二伺服电机设置在第二基座上,第二伺服电机的动力输出轴与第二丝杆连接,并通过第二丝杆带第二动移动面板在Y轴方向上移动,所述Z方向升降样品台包括第三基座、第三丝杆、第三伺服电机和第三移动面板,所述第三伺服电机设置在第三基座上,第三伺服电机的动力输出轴与第三丝杆连接,并通过第三丝杆带动第三移动面板在Z轴方向上移动。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光加工装置,其特征在于,所述飞秒激光装置上设有水冷装置,所述水冷装置包括输送泵和液体循环管路,所述液体循环管路与泵浦光源连接。

3.根据权利要求1所述的飞秒激光加工装置,其特征在于,所述激光加工设备的侧面设有LED照明灯,LED照明灯的光路上设有第八反射镜。

4.根据权利要求1所述的飞秒激光加工装置,其特征在于,所述激光加工设备的近红外光的光路上设有可调物镜。

5.根据权利要求1所述的飞秒激光加工装置,其特征在于,所述加工平台底部设有减震块,所述减震块包括蜂窝结构台面和气浮隔震腿,所述蜂窝结构台面设置在气浮隔震腿的上方。