欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2016109743263
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构,其特征在于:包括圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、轮辐状弹性支撑悬梁(3);

其中,圆柱状中心锚点(2)位于圆环状谐振质量(1)的内腔,且圆柱状中心锚点(2)的轴线与圆环状谐振质量(1)的轴线相互重合;轮辐状弹性支撑悬梁(3)的数目为八个,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)围绕圆柱状中心锚点(2)的轴线等距排列;

每个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均由第一片状弹性支撑悬梁(31)、第二片状弹性支撑悬梁(32)、第一方波状弹性支撑悬梁(33)、第二方波状弹性支撑悬梁(34)、第三片状弹性支撑悬梁(35)、第四片状弹性支撑悬梁(36)构成;第一片状弹性支撑悬梁(31)的尾端和第二片状弹性支撑悬梁(32)的尾端均与圆柱状中心锚点(2)的外侧面固定;第一片状弹性支撑悬梁(31)和第二片状弹性支撑悬梁(32)并排平行设置,且第一片状弹性支撑悬梁(31)和第二片状弹性支撑悬梁(32)之间留有间隙;第一方波状弹性支撑悬梁(33)的尾端与第一片状弹性支撑悬梁(31)的首端固定;第二方波状弹性支撑悬梁(34)的尾端与第二片状弹性支撑悬梁(32)的首端固定;第一方波状弹性支撑悬梁(33)和第二方波状弹性支撑悬梁(34)共同围合形成工字形空间;第三片状弹性支撑悬梁(35)的尾端与第一方波状弹性支撑悬梁(33)的首端固定;第四片状弹性支撑悬梁(36)的尾端与第二方波状弹性支撑悬梁(34)的首端固定;第三片状弹性支撑悬梁(35)和第四片状弹性支撑悬梁(36)并排平行设置,且第三片状弹性支撑悬梁(35)和第四片状弹性支撑悬梁(36)之间留有间隙;第三片状弹性支撑悬梁(35)的首端和第四片状弹性支撑悬梁(36)的首端均与圆环状谐振质量(1)的内侧面固定;

八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的尺寸一致,且八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)的高度均与圆环状谐振质量(1)的高度相等;

圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)均采用低阻硅片加工而成,且圆环状谐振质量(1)、圆柱状中心锚点(2)、八个轮辐状弹性支撑悬梁(3)采用体硅加工工艺制造为一体。