1.一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法,包括下列顺序步骤:
(1)将厚度为0.01~1mm的金属钛片(纯度为99.0%~99.99%),室温下进行酸洗,酸洗液为HF:HNO3:H2O=1:4:5(体积比),酸洗时间10~30min;
(2)将酸洗后的钛片用去离子水清洗干净,依次以1500、2000目的金相砂纸打磨至表面呈金属光泽,再分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗,最后经去离子水清洗后干燥备用;
(3)将上述钛片浸入到含NH4F,含去离子水的乙二醇溶液中,以钛片为阳极,铂电极为阴极,室温下施加60V直流电进行阳极氧化10~60min;
(4)以阳极氧化后的钛片为阳极,铂电极为阴极,Sr(NO3)2溶液为电解液,室温下施加40~80V直流电,反应时间为10~60min;
(5)电化学反应完成后,将样品取出,用去离子水清洗干净,再经300~400℃,1~2h热处理后,得到钛酸锶SrTiO3薄膜。
2.按照权利要求1所述一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法,其特征在于:钛片浸入到含NH4F 0.1~1wt%,含去离子水1~10wt%的乙二醇溶液中,以钛片为阳极,铂电极为阴极,室温下施加60V直流电进行阳极氧化10~60min。
3.按照权利要求1所述一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法,其特征在于:以阳极氧化后的钛片为阳极,铂电极为阴极,1~10mmol/L的Sr(NO3)2溶液为电解液,室温下施加40~
80V直流电,反应时间为10~60min。