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专利号: 2016110904410
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 机床;其他类目中不包括的金属加工
更新日期:2024-08-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法,其特征在于按如下步骤:步骤一:硅基板的第一端固定;

步骤二:激光照射硅基板的第二端,硅基板第二端形成凸起形貌;

步骤三:测量硅基板凸起形貌的最大高度H以及最大直径D,通过以下公式计算硅基板表面凸起形貌的长径比:最大高度H/最大直径D;

步骤四:改变步骤二的激光功率,重复步骤二至步骤三,统计不同激光功率下最大凸起形貌的长径比,以得出激光功率与最大凸起形貌的长径比规律。

2.如权利要求1所述基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法,其特征在于:步骤二,激光照射硅基板10s。

3.如权利要求1或2所述基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法,其特征在于:步骤二之后,测量硅基板的第二端温度。

4.如权利要求3所述基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法,其特征在于:对硅基板的第二端端面至距离该端端面10um的区间进行温度测量。

5.如权利要求1所述基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法,其特征在于:步骤四,通过绘制折线图统计激光功率与最大凸起形貌的长径比规律。