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专利号: 2016110945800
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:源区、漏区和栅极分布在一个有源区之内;所述栅极呈字母“Z”字形且将有源区分隔成源区和漏区;所述源区和漏区之间没有相交区域且被“Z”字形栅极半包围;栅极下是栅氧化层结构,且栅氧化层厚度小于

12nm。

2.根据权利要求1所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:所述的栅极是呈字母“Z”字形,栅极拐角处均为90度角,即“Z”字形栅由两端平行栅和一段中心栅组成。

3.根据权利要求1所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:“Z”字形栅极由多晶硅材料构成,且栅的宽度处处相同。

4.根据权利要求1所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:所述源区和漏区的面积大小相同,非对称的分布在中心栅的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:栅极与隔离氧化物没有重叠区域。

6.根据权利要求1所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:“Z”字形栅极与隔离场氧有重叠区域。

7.根据权利要求7所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管版图结构,其特征在于:栅极与隔离氧化物有重叠区域,即仅与有源区重叠OV段距离,并要求OV至少大于50%的栅宽。

8.根据权利要求8所述的一种抗总剂量辐射加固的Z栅MOS晶体管,其特征在于:所述栅极由连续的“Z”字形栅构成;所述的栅极由连续的呈字母“Z”字形的栅构成,栅极可有多处拐角且拐角处均为90度角。