1.一种采用单一渐变材料光栅实现导模共振滤波方法，其特征在于，在基底上镀制一层折射率沿厚度方向递增的光学薄膜，得到渐变折射率薄膜，刻蚀该渐变折射率薄膜，得到采用单一渐变折射率薄膜的导模共振滤波器。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，渐变层沿膜层厚度方向的折射率由式(1)表示，其中ngra为渐变层折射率，n0为常数，α为渐变系数，dgra为渐变层的厚度，0≤y≤dgra；

ngra(y)＝n0+αy(0≤y≤dgra)                    式(1)。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，对于给定的渐变层厚度dgra，通过调节渐变系数α调节渐变层折射率ngra；对于给定的的渐变系数α，通过调节dgra调节渐变层折射率ngra。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，在渐变层厚度dgra固定的情况下，通过调整刻蚀深度，选择滤波器通道位置；在渐变层厚度dgra不固定的情况下，通过降低渐变系数α来增大渐变层厚度dgra，以增加导模共振的通道数，实现导模共振多通道滤波。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，渐变折射率薄膜采用电子束共蒸、等离子体增强化学气象沉，或单靶溅射和双靶共溅射的方法实现。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，刻蚀采用电子束刻蚀、离子束辅助刻蚀、或纳米压印的方法。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采用TE或TM偏振光波正入射或斜入射。

8.一种导模共振滤波器，其特征在于，在基底上镀制一层折射率沿厚度方向递增的光学薄膜，刻蚀该渐变折射率薄膜，得到采用单一渐变折射率薄膜的导模共振滤波器。

9.根据权利要求8所述的一种导模共振滤波器，其特征在于，在渐变层厚度dgra固定的情况下，通过调整刻蚀深度，来选择滤波器通道位置；在渐变层厚度dgra不固定的情况下，通过降低渐变系数α来增大渐变层厚度dgra，以增加导模共振的通道数，实现导模共振多通道滤波。

10.根据权利要求8所述的一种导模共振滤波器，其特征在于，通过调节滤波器结构参数，包括光栅周期、渐变层厚度、刻蚀深度、光栅占空比、渐变系数实现在任意波段的TE和TM偏振的导模共振滤波。