1.基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，所述环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。

2.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，横梁和环形连接体经ICP正面刻蚀以及DRIE背腔刻蚀加工而成；所述的PZT压电薄膜为通过溶胶-凝胶的方法制得厚度1μm厚的压电层。

3.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述的框型基座外边长5000μm，内边长3500μm；横梁长900μm，宽120μm，厚30μm。

4.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述环形连接体外径1700μm，内径1500μm，厚度30μm；球形振子直径为1500μm。

5.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述下电极为Pt/Ti层，所述上电极为Au层。

6.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述下电极、PZT压电薄膜、上电极Au长均为600μm，宽均为120μm，厚度分别为150nm、1μm、

150nm。

7.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述球形聚乙烯拾振单元采用密度与水相同或接近球形聚乙烯。