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专利号: 2017101961993
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪,其包括:

前置干涉成像系统,该系统由复色光源(1)和干涉仪光学系统组成,该干涉仪光学系统包括扩束镜(2)、第一分光板(3)、准直透镜(4)、标准平晶(5)和第二分光板(7);

准直分光系统,该系统由准直透镜(8)和分光光栅(9)组成;

其特征是,其还包括多通道频-空转换采样系统,该系统由同心球聚焦元件(10)、中继成像系统(11)和CMOS探测器(12)组成,中继成像系统(11)的入瞳与同心球聚焦元件(10)的中心位置重合;

复色光源(1)发出的光入射到扩束镜(2),扩束后发出的光入射到第一分光板(3),光经第一分光板(3)反射后被准直透镜(4)准直成平行光束,平行光束垂直依次入射到标准平晶(5)及待测件(6)上;光经标准平晶(5)和待测件(6)反射,反射光经过第一分光板(3)透射到第二分光板(7)上,经第二分光板(7)反射后进入准直透镜(8)出射成平行光,平行光再经分光光栅(9)将复色光分成不同谱段的光,不同谱段的光通过同心球聚焦元件(10)聚焦到中继成像系统(11)上,再由CMOS探测器(12)进行干涉成像检测和分析。

2.根据权利要求1所述的基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪,其特征在于,同心球聚焦元件(10)具有多层不同折射率的同心球对称结构。

3.根据权利要求1所述的基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪,其特征在于,中继成像系统(11)为同心球聚焦元件(10)提供虚拟光阑(13),虚拟光阑(13)中心与同心球聚焦元件(10)的球心重合,提高了同心球聚焦元件(10)的光阑自由度。

4.根据权利要求1所述的基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪,其特征在于,所述的中继成像系统(11)和CMOS探测器(12)的位置与同心球聚焦元件(10)出射光的空间角度相对应。