1.一种超声辅助超临界电沉积装置,其特征在于:包括反应釜(1)、电沉积夹具(2);
所述反应釜(1)上设有加热组件、超声波组件和磁搅拌组件;
所述加热组件包括加热线圈(1-1-1)、温度传感器(1-1-2)、控制器(1-1-3),所述加热线圈(1-1-1)设在反应釜釜壁上并通过传热介质间接控制反应釜(1)内温度,所述温度传感器(1-1-2)也设在反应釜釜壁上并采集反应釜的温度值,所述控制器(1-1-3)的信号输入端与温度传感器(1-1-2)相连,所述控制器(1-1-3)的信号输出端与加热线圈(1-1-1)相连;
所述超声波组件包括超声变幅杆(1-3-1)、电声换能器(1-3-2)、超声波控制器(1-3-3)和超声波发生器(1-3-4),所述超声变幅杆(1-3-1)设在反应釜外壁,所述超声变幅杆(1-3-
1)与电声换能器(1-3-2)相连,所述电声换能器(1-3-2)设在反应釜外部,所述电声换能器(1-3-2)并联在超声波发生器(1-3-4)上用于将输入的电能转化为机械能,所超声波控制器(1-3-3)与电声换能器(1-3-2)相连并控制电声换能器(1-3-2)共振频率,所述超声波发生器(1-3-4)与超声波控制器(1-3-3)相连将市电转换成与电声换能器(1-3-2)匹配的高频率交流电信号从而驱动电声换能器(1-3-2)工作;
所述磁搅拌组件包括磁力搅拌器(1-4-1)和用于控制搅拌子转速的搅拌控制器(1-4-
2),所述磁力搅拌器(1-4-1)设置在反应釜底部,所述磁力搅拌器(1-4-1)与搅拌控制器(1-
4-2)相连并通过产生的磁场带动渡液中的搅拌子转动;
所述电沉积夹具(2)包括法兰盘端盖,导轨组件,电极装夹板组件和锁紧机构组件;
所述的法兰盘端盖包括法兰盘(2-1-1)和电极棒(2-1-2),所述电极棒(2-1-2)呈对称状并贯穿于法兰盘(2-1-1)上并通过橡胶密封圈密封,所述法兰盘(2-1-1)上还设有进气孔和排气孔,所述法兰盘(2-1-1)与反应釜釜体通过密封圈密封;
所述电极装夹板组件包括电极装夹板(2-3)、收缩机构(2-4)和弹簧导电机构(2-5),所述电极装夹板(2-3)上方与导轨凹槽(2-2-1)滑动配合形成工字凸台,所述电极装夹板(2-
3)下方为电极棒(2-1-2);所述收缩机构(2-4)设在工字凸台下方;
所述导轨组件包括导轨凹槽(2-2-1)和紧固螺钉(2-2-2),所述导轨凹槽(2-2-1)设在电极棒(2-1-2)下方,导轨一端密封,另一端可方便拆卸电极装夹板,所述电极装夹板上设置有与导轨槽配合形成滑动副的滑动导向工字凸台,所述电极装夹板组件通过导轨槽与滑动导向凸台的配合形成滑动,所述导轨槽顶部设置有导电铜片,与设置在电极装夹板顶部的导电铜片形成接触导电;
所述锁紧机构组件包括锁紧螺母(2-6-1)、锁紧垫圈(2-6-2)和半圆锁紧块(2-6-3),所述锁紧垫圈(2-6-2)中心开半圆孔可使电极装夹板(2-3)贯穿整个锁紧垫圈(2-6-2)保证锁紧垫圈可沿着装夹板上下移动,所述锁紧垫圈(2-6-2)与锁紧螺母(2-6-1)配合使用起到固定工件的作用,所述半圆锁紧块(2-6-3)与电极装夹板(2-3)螺接。
2.根据权利要求1所述的超声辅助超临界电沉积装置,其特征在于:还包括所述收缩机构(2-4),所述收缩机构(2-4)包括收缩连杆(2-4-1)、半圆垫片(2-4-2)、弹球(2-4-3)和弹簧(2-4-4),所述收缩连杆(2-4-1)上方设有凸出一部分的弹簧槽,下方设有直径不超过弹球直径的孔槽,所述半圆垫片(2-4-2)与收缩连杆(2-4-1)相连,所述半圆垫片(2-4-2)中心开半圆孔使电极装夹板(2-3)贯穿并滑动配合;所述弹球(2-4-3)放置在收缩连杆(2-4-1)的弹簧槽中,从而实现两节收缩连杆的连接固定,当按住弹球使得弹球脱离孔槽时,可实现两节连杆的上下收缩移动;所述弹簧(2-4-4)放置在收缩连杆(2-4-1)的弹簧槽中用于推动弹球进入孔槽实现两节连杆的固定。
3.根据权利要求1所述的超声辅助超临界电沉积装置,其特征在于:还包括弹簧导电机构,所述弹簧导电机构包括:导电铜片(2-5-1)和导电弹簧(2-5-2),所述导电铜片(2-5-1)一端与待镀工件相连,另一端与导电弹簧相连,所述导电弹簧(2-5-2)安置在电极装夹面板预留槽中,导电弹簧与电极装夹面板中的导电铜线相连。
4.根据权利要求1所述的超声辅助超临界电沉积装置,其特征在于:所述超声变幅杆(1-3-1)为环氧树脂胶制成的环状贴片。
5.根据权利要求1所述的超声辅助超临界电沉积装置,其特征在于:所述电声换能器(1-3-2)也呈环状并通过螺栓与反应釜外部螺接。