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专利号: 2017102267970
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器,其特征在于:包括框型基座(1),所述框型基座(1)上的四条边分别通过横梁(2)连接环形连接体(3),所述环形连接体(3)上安装球形拾振单元(4),所述球形拾振单元(4)的密度为1g/cm3;四根横梁(2)外侧分别设置有压敏电阻R11、压敏电阻R12、压敏电阻R13和压敏电阻R14,所述框型基座(1)上设置有基准电阻R2、基准电阻R3和基准电阻R4;压敏电阻R11、R12、R13 、R14串联后与基准电阻R2、R3和R4通过金属引线(5)连接成惠斯通电桥结构,各基准电阻阻值为各压敏电阻阻值的4倍。

2.根据权利要求1所述的基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器,其特征在于:各压敏电阻是采用离子注入的方式制成沿<110>晶向布置的P型硅电阻条,长100μm、宽

20μm;各基准电阻是采用离子注入的方式制成沿<110>晶向布置的P型硅电阻条,长400μm、宽20μm。

3.根据权利要求2所述的基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器,其特征在于:所述框型基座(1)外边长5000μm、内边长3500μm;所述横梁(2)长900μm、宽120μm、厚30μm;所述环形连接体(3)外径1700μm、内径1500μm、厚度30μm;所述球形拾振单元(4)直径1500μm。

4.根据权利要求1所述的基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器,其特征在于:所述球形拾振单元(4)采用聚乙烯材料制备。